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公开(公告)号：CN101870141B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201010158757.5
申请日：2010-04-23
Applicant: 株式会社东京精密
Abstract: 本发明提供一种切割装置、带排水排气机构的切割装置及环境控制方法。该切割装置防止切削屑的堆积，提高排出效率，使洗涤容易，维持工件交换部的清洁。其包括：装载工件的工件台；切断该工件的刀片；工件台运送机构，该机构使上述工件台上的工件相对上述刀片而移动；主轴，其以可旋转的方式安装上述刀片；以可移动的方式支承该主轴的主轴移动机构，将该主轴移动机构和上述工件台运送机构相互垂直地设置，配设有排水机构，该排水机构具有排水口，该排水口在上述工件的切断时，位于沿上述刀片飞散的切削水的排出方向的基本沿长线上，该排水机构具有伴随接近上述排水口宽度变窄的排水通路，上述切削水一边使流速增大，一边进行排水。
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公开(公告)号：CN104364884A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380031514.7
申请日：2013-06-14
IPC: H01L21/301 , B24D3/00 , B24D3/06 , B24D5/12
CPC classification number: B24B19/02 , B24B9/065 , B24B27/06 , B24D5/12 , B28D5/0029
Abstract: 即使对于由脆性材料构成的工件，也不产生裂纹、破裂，而以延展性模式稳定且高精度地进行切断加工。在对工件(W)进行切断加工切割装置(10)中，具备：切割刀片(26)，其由对金刚石磨粒进行烧结而形成的金刚石烧结体(80)构成为圆盘状，所述金刚石烧结体(80)的所述金刚石磨粒的含量为80％以上；主轴单元(旋转机构)(28)，其使所述切割刀片(26)旋转；移动机构，其在通过所述切割刀片(26)对所述工件(W)切入恒定的切入深度的同时，使所述工件(W)相对于所述切割刀片(26)进行相对移动。
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公开(公告)号：CN102646584B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201210031062.X
申请日：2012-02-13
Applicant: 株式会社东京精密
IPC: H01L21/301 , H01L21/67 , B28D5/00
Abstract: 本发明提供一种防止切割带的松弛导致的芯片的品质降低等的工件分割装置及工件分割方法。在将经由芯片粘接膜贴附在切割带上的工件沿着预先形成的预定分离线分割成各个芯片的工件分割装置中，具备：工件，其由具有预定分离线的半导体晶片构成；选择性冷却机构，其选择性地对包括贴附在所述芯片粘接膜上的所述工件的预定分离线的所述芯片粘接膜的区域进行冷却；工件分割机构，其在进行所述冷却后使所述切割带扩展而将所述工件及所述芯片粘接膜分割；选择性加热机构，其选择性地对所述切割带的经由所述芯片粘接膜贴附有所述工件的区域以外的部分进行加热，从而消除所述切割带的因所述扩展引起的松弛。
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公开(公告)号：CN101870142A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010153303.9
申请日：2010-04-21
Applicant: 株式会社东京精密
Abstract: 本发明涉及切割装置、切割装置组件和切割方法，可容易实施刀片的更换、直线度、同轴度确认和端面调整与喷嘴调整等，并且提高维护的作业性，使切割装置的重心稳定，而且缩小设置空间。所述的切割装置包括：装载工件的工件台；切断该工件的刀片；工件台运送机构，该机构使工件台上的工件相对上述刀片而移动；主轴，其以可旋转的方式安装上述刀片；支承该主轴的主轴移动机构，上述主轴移动机构和上述工件台运送机构相互垂直地设置，上述主轴移动机构和上述工件台运送机构设置于呈方形的切割装置的方形框架的对角线上，并且在上述切割装置的基本中间部，设置工件切断加工部，并且在上述切割装置的前部设置工件更换部。
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公开(公告)号：CN100487359C
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200510067076.7
申请日：2005-04-27
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor： 高梨陵
CPC classification number: G01B5/0002
Abstract: 一种检测支撑装置，能够相对于各种工件，以一次动作切换检测器的检测方向、且进行圆筒外周面、内周面及平面的测定。这种检测器支撑装置(10)，具有一端固定在相对于工件(W)可以直线移动的保持台21上、另一端具有旋转轴心(RC)的第1臂(11)和以旋转轴心(RC)为中心相对于第1臂(11)旋转自由且前端安装有检测器(31)的第2臂(12)；旋转轴心，被设置在相对于移动轴(HC)倾斜45°的平面上，同时在向与相对于移动轴(HC)倾斜45°的平面倾斜45°且包含移动轴(HC)的平面的投影图上，相对于移动轴(HC)倾斜45°，安装在第2臂(12)上的检测器(31)的轴心(KC)与旋转轴心(RC)交叉。
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公开(公告)号：CN1037297C
公开(公告)日：1998-02-04
申请号：CN93106213.6
申请日：1993-05-20
Applicant: 株式会社东京精密
CPC classification number: G08G1/095 , G09F9/313 , G09F13/20 , G09F2013/0472
Abstract: 被装在与交通信号一起容易同时观察到的地方的交通安全板。包括交通信息、交通口号和告示之类的信息被显示在此交通安全板上，而且/或者让上述信息的背景被转换为与该交通信号相应发光颜色相同的颜色，或者使其与交通信号的红灯同步从开转至关或相反。此外，发光面板的显示部分在预定的定时内从整体上依次被转换为绿、黄和红，以增加发光面积。而且交通信号灯用遮光罩是由薄的几乎为方形的铁板加工成的，且在靠近其底端处加工有通风口。
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公开(公告)号：CN1124387A
公开(公告)日：1996-06-12
申请号：CN95116189.X
申请日：1993-05-20
CPC classification number: G08G1/095 , G09F9/313 , G09F13/20 , G09F2013/0472
Abstract: 被装在与交通信号一起容易同时观察到的地方的交通安全板。包括交通信息、交通口号和告示之类的信息被显示在此交通安全板上，而且/或者让上述信息的背景被转换为与该交通信号相应发光颜色相同的颜色，或者使其与交通信号的红灯同步从开转至关或相反。此外，发光面板的显示部分在预定的定时内从整体上依次被转换为绿、黄和红，以增加发光面积。而且交通信号灯用遮光罩是由薄的几乎为方形的铁板加工成的，且在靠近其底端处加工有通风口。
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公开(公告)号：CN119998674A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202380071143.9
申请日：2023-09-27
Applicant: 株式会社东京精密
IPC: G01R31/385 , G01R31/00 , G01R31/382
Abstract: 具备：多个充放电试验装置（12），对充放电体（9）进行充放电；切换电路（14），能够切换将一个以上的充放电试验装置（12）与一个以上的充放电体（9）电连接的组合；以及控制部（16），控制切换电路（14）来执行组合的切换。
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公开(公告)号：CN119694967A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411317609.1
申请日：2024-09-20
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor： 八木隆之
IPC: H01L21/683
Abstract: [课题]本发明提供一种工件保持装置，其矫正切割框架的变形和翘曲，并能够稳定地吸附保持。[解决方案]一种对经由切割带(12)粘贴在切割框架(11)上的晶圆(W)进行保持的装置，其构成为，具备：卡盘工作台(14)，该卡盘工作台(14)具有能够吸附保持晶圆(W)的卡盘部(15)和凹设在卡盘部(15)外周的收纳部(16)；以及卡盘板(18)，该卡盘板(18)形成有在上面(18d)开口的吸附孔(18e)，配置在收纳部(16)内而能够吸附保持切割框架(11)，吸附孔(18e)与由卡盘工作台(14)、切割框架(11)及切割带(12)包围的密闭空间(27)连通，当向密闭空间(27)供给负压时，切割带(12)的连接切割框架(11)与晶圆(W)的连接区域(12a)以接近卡盘工作台(14)的方式挠曲。
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