真空腔体隔离装置
    61.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201673938U

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200920274206.8

    申请日:2009-12-01

    IPC分类号: H01L51/56

    摘要: 本实用新型公开了一种真空腔体隔离装置,适用于对提供真空镀膜的真空腔体内的处理板及蒸发源进行隔离,包括挡盖及控制机构,所述控制机构包括推动轴、推动板及直线驱动装置,所述推动轴的一端密封地穿入所述真空腔体内腔壁并与所述挡盖固定连接,所述挡盖容置于所述真空腔体内且位于真空腔体内的蒸发源与处理板之间,所述推动轴的另一端与所述推动板固定连接,所述推动板位于所述真空腔体外,所述直线驱动装置安装于所述真空腔体的腔壁上并位于所述真空腔体外且其输出轴与所述推动板固定连接且相互垂直,本实用新型真空腔体隔离装置能最大限度地提高有机发光二极管基片镀膜层的均匀性及纯净性,使基片镀膜层的品质得到了极大的提高,延长了基片的使用寿命。

    有机发光显示器后段工艺封装系统

    公开(公告)号:CN201638857U

    公开(公告)日:2010-11-17

    申请号:CN201020140639.7

    申请日:2010-03-23

    IPC分类号: H01L51/56

    摘要: 本实用新型公开了一种有机发光显示器后段工艺封装系统,其包括机械手传输单元、后盖玻璃输入单元、镀膜基片输入单元、封装单元及输出单元,机械手传输单元包括传输腔、机械手驱动装置机械手,后盖玻璃输入单元、镀膜基片输入单元、封装单元及输出单元分别与所述传输腔连通,机械手将后盖玻璃从后盖玻璃输入单元输送到封装单元内,机械手将已形成膜层的镀膜基片从镀膜基片输入单元输送到封装单元内,后盖玻璃与镀膜基片在封装单元内进行压合封装形成一体,机械手将封装单元内压合封装行成一体的后盖玻璃与镀膜基片取出并通过输出单元输出。本实用新型的兼容性高且可以提高生产效率、节省生产成本。

    传输设备
    63.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201446534U

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200920059250.7

    申请日:2009-06-26

    IPC分类号: B25J19/00

    摘要: 本实用新型提供了一种传输设备,包括底座、腔体、机械手、机械手驱动机构、控制系统、驱动轴、多个侧面法兰及与侧面法兰相互对应的传感器、闸门及闸门驱动机构,腔体呈中空结构,中空结构形成机械手活动腔,驱动轴的一端密封穿过腔体的底部且延伸入机械手活动腔内并与机械手连接,驱动轴另一端与机械手驱动机构连接,机械手驱动机构与控制系统电连接,侧面法兰具有传输通道,侧面法兰设置于腔体的侧壁上且传输通道与机械手活动腔连通,闸门安装于侧面法兰的传输通道内并与闸门驱动机构连接,闸门驱动机构安装于腔体上且与传感器电连接,传感器与控制系统电连接。本实用新型能充分利用腔体内部空间且其结构紧凑、兼容性高并便于腔体内产品传输。