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公开(公告)号：CN108539004A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810375704.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法，包括如下步骤：1）提供一衬底，并于衬底的上表面形成底层超导薄膜层、绝缘薄膜层及顶层超导薄膜层；2）刻蚀去除部分顶层超导薄膜层、部分绝缘薄膜层及部分底层超导薄膜层；3）于步骤2）所得到结构的表面形成一第一绝缘层；4）于步骤3）所得到结构的表面形成第二绝缘层；5）于步骤4）所述得到结构的表面形成附加超导薄膜层，并刻蚀附加超导薄膜层以形成第二亚微米线条，第二亚微米线条至少与第一亚微米线条呈十字交叉连接。本发明可以有效解决现有技术中存在的电极窗口问题；双层绝缘层不仅改善了边缘效应、降低了台阶过渡处漏电流的产生，还有利于提高约瑟夫森结的质量及可靠性。
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公开(公告)号：CN108011033A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711401031.8
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L39/24 , H01L27/18 , H01L39/04 , G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种SQUID平面梯度计芯片的封装结构及封装方法，所述封装方法包括：提供一SQUID平面梯度计芯片；于所述SQUID平面梯度计芯片的下方设置至少一层缓冲层；于所述缓冲层的下方设置一基板，并于所述基板上制作与所述SQUID平面梯度计芯片的电极电性连接的引出电极；以及于所述基板上设置一封装盖板，其中，所述SQUID平面梯度计芯片及所述缓冲层均封装于所述封装盖板内。通过本发明提供的SQUID平面梯度计芯片的封装结构及封装方法，解决了现有SQUID平面梯度计芯片封装结构的不平衡度指标较差的问题。
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公开(公告)号：CN107870262A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201711058842.2
申请日：2017-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/10 , G01R33/032 , G04R20/02
Abstract: 本发明涉及一种基于GPS授时的高精度光泵磁力仪计频装置及方法，其中，所述装置包括：依次连接的一用于提供GPS秒脉冲信号的GPS接收机、一FPGA板卡、一频率计算模块和一晶振修正模块，以及一与所述FPGA板卡连接的多路选择器以及一与所述多路选择器和所述晶振修正模块连接的用于提供时钟脉冲信号的恒温晶振。本发明可以在解除因使用GPS授时所带来的测量地点限制的同时，很方便地通过多路协同计数方法提高频率测量的精度。此外，按本方法构建的高精度计频装置实现简单、适应性强、灵活度高、电磁兼容好，非常适合于光泵磁力仪等以频率输出测试结果的传感器。
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公开(公告)号：CN104422903B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201310374497.9
申请日：2013-08-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种用于采用超导量子干涉器件的传感器的调试系统及方法，至少包括：与所述读出电路和超导量子干涉器件连接的数字电压转换器，用于将外接的电源分别转换成超导量子干涉器件的偏置电压和读出电路的偏移电压；与所述读出电路的测试信号输入端、输出端及数字电压转换器相连的调控装置，用于基于所述测试信号输入端所输入的信号的周期，检测所述输出端所输出的具有所述周期的感应信号，并从中确定所述周期内的电压峰峰值和直流偏移电压，基于相邻检测的两个所述电压峰峰值的比较结果来逐步调整所述数字电压转换器所输出的偏置电压，并控制所述数字电压转换器将所输出的偏移电压调整为抵消所确定的偏移电压，实现超导量子干涉器及其读出电路工作参数的自动调试设置。
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公开(公告)号：CN103245928B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310195809.X
申请日：2013-05-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明涉及一种方向可调的均匀磁场和均匀一阶梯度磁场的方法及相应的装置，其特征在于将均匀磁场和梯度磁场发生装置与磁场方向调节装置结合在一起，构成一个方向可调的磁场和梯度磁场产生装置；所述的装置由两部分组成：一部分是均匀磁场和均匀一阶梯度磁场产生装置，在装置中通入电流时，在装置内部产生均匀磁场或均匀一阶梯度磁场，根据具体使用要求，在线圈的不同端子通入同向或反向电流，以满足使用要求；另一部分是调节磁场方向装置，以调节磁场和全张量一阶梯度磁场的方向；将这两部分集成在一起，构成方向可调节的磁场和梯度磁场发生装置。应用于磁传感器标定或多通道复杂结构的SQUID探测模块的标定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103389478B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210427956.0
申请日：2012-10-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种超导磁传感器的数字化实时磁补偿装置及方法，其特征在于在传统磁通锁定环读出电路的基础上引入具有不同通带特性的两级负反馈，分别实现高灵敏度待测磁场信号的读取和低灵敏度待补偿磁场干扰的补偿，采用ADC、微处理器、DAC及其附属器件组成的数字电路构建磁补偿电路，并增加了可提高磁补偿装置可靠性的软启动和磁通锁定环直流偏置自动消除功能。其补偿方法特征在于通过ADC采集磁通锁定环的输出信号，然后由微处理器进行直流偏置消除、滤波、反转、积分，最后由DAC输出磁补偿反馈需要的信号。充分利用SQUID Feedback（反馈）线圈进行反馈，极大地简化了磁补偿装置的结构，提高了它的可维护性、可靠性和待补偿信号的提取能力。
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公开(公告)号：CN103220047B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310153611.5
申请日：2013-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于超导SQUID阵列的低频透地通信系统及方法，其特征在于所述的系统依次由低频信号发射、无线传输大地信道以及基于超导SQUID阵列的信号接收和分析构成，其中基于超导SQUID阵列的信号接收集成了多个超导SQUID器件集成与SQUID阵列匹配的读出电路以及为超导SQUID阵列提供低温环境的杜瓦构成。所述的系统使用时需考虑①多通道串扰解决方法以及微弱信号处理方法。本发明在上述基础上能提高信号接收的信噪比和信号接收的准确性，降低通信误码率。
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公开(公告)号：CN104730473A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310713552.2
申请日：2013-12-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种绝对磁场测量设备及所适用的绝对磁场测量方法。所述设备包括：设置在超导环境中的三轴超导量子干涉器磁强计；与所述三轴超导量子干涉器磁强计处于同一磁场环境且设置在常温环境中的三轴磁通门计；数据采集处理装置，用于利用各轴向的所述超导量子干涉器磁传感器所测得的相对测量值来拟合所述磁场环境的绝对测量拟合值，以便所述磁场拟合值与所述三轴磁通门计所测得的绝对磁场值的均方误差最小，并根据所述三轴超导量子干涉器磁强计所测得的相对测量值和所拟合的各绝对测量拟合值中的直流分量来确定所述磁场环境的绝对值。本发明能够在磁场瞬间变化时，高精度的测得磁场的绝对测量值。
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公开(公告)号：CN104597336A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201310532740.5
申请日：2013-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种无磁杜瓦电磁屏蔽性测试方法及装置，测试装置包括：用于产生变频信号的信号发生器；与所述信号发生器相连，用于对所述信号发生器输出的变频信号进行放大的第一射频放大器；与所述第一射频放大器相连并套设在杜瓦瓶外侧，用于发射所述第一射频放大器输出的变频信号的电磁发射环；设置在杜瓦瓶内部用于接收所述电磁发射环所发射的变频信号以产生磁信号的电磁接收天线；与所述电磁接收天线相连，用于对所述电磁接收天线接收的磁信号进行放大的第二射频放大器；与所述第二射频放大器相连，用于显示放大之后的磁信号以确定所述杜瓦瓶电磁屏蔽性的输出显示设备。本发明能简单便捷地实现对无磁杜瓦瓶经电磁屏蔽处理后的屏蔽性能测试。
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公开(公告)号：CN104407310A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410742613.2
申请日：2014-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/022 , G01C21/16 , G01S19/47
Abstract: 本发明公开了一种基于GPS同步的航空超导全张量磁梯度测控装置，其特征在于所述的装置位于悬吊与吊舱子系统中的吊舱内；航空超导全张量磁梯度测控装置由SQUID读出电路、数据采集与通讯组件、飞行位置与姿态信息记录组件、工作环境监测组件以及人机界面组件组成，并以数据采集与通讯组件为核心采用星型拓扑结构连接其它四个组件。本装置基于GPS授时功能通过数字锁相环生成的PPS倍频采样时钟对指定时间的特定信号重采样后，利用时间戳实现与GPS组合惯导给出的位置和姿态信息同步，从而通过姿态投影为反演奠定基础；并且所述装置特点是实现简单、可扩展性和可靠性高，非常适合在航空平台下应用。
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