基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法

    公开(公告)号:CN110196240B

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201910379230.6

    申请日:2019-05-08

    IPC分类号: G01N21/45 G01B11/06

    摘要: 本发明涉及一种基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法,属于激光改性及测量领域。该方法基于飞秒激光微纳加工系统,包括以下步骤:通过将购买的GaN基LED外延片样品放到已有的六自由度平移台上,激光通过平凸聚焦在样品表面。激光的能量可以通过衰减片调节,重复频率,扫描速度,扫描间隔可以通过已有的程序进行调节。测量加工后样品的PL谱线,对谱线进行后续分析计算,可以得出样品的折射率和厚度。对比现有技术,本发明提供的方法通过测量飞秒激光改性后样品的光致发光谱线,分析得到的谱线进而可以计算样品折射率和厚度。

    一种基于空间整形飞秒激光分层扫描的异形孔加工系统

    公开(公告)号:CN110877161A

    公开(公告)日:2020-03-13

    申请号:CN201911144896.X

    申请日:2019-11-20

    摘要: 本发明涉及一种基于空间整形飞秒激光分层扫描的异形孔加工方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明的加工系统,采用空间整形技术,将传统空间上呈高斯分布的飞秒激光整形成为聚焦后具有均匀能量分布的平顶光束,设定激光扫描的路径与参数,实现高质量的复杂异形孔加工。本发明的空间整形飞秒激光应用于异形孔扫描时,由于整形后的平顶光束能量分布较为平均,可以有效避免烧蚀不均匀带来的加工结果的不理想。本发明的空间整形飞秒激光,应用于异形孔扫描时,通过扫描路径的分层设计,可以便于调节异形孔的形状、尺寸、深度以及锥度,实现高自由度的异形孔加工。

    飞秒激光时/空整形光丝制备高质量高深径比微孔的装置

    公开(公告)号:CN108747059B

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201810595110.5

    申请日:2018-06-11

    摘要: 本发明涉及一种飞秒激光时/空整形光丝制备高质量高深径比微孔的装置,属于透明材料微加工领域。利用脉冲时域整形设备产生飞秒激光脉冲序列;调整待加工样品位置使光丝在其中产生最大深度的微孔;优化脉冲序列中子脉冲延时以提高微孔质量;组合利用半波片与偏振片分别调节被两透镜聚焦的激光能量,使激光经过两透镜聚焦后在待加工样品上形成的微孔直径相等;调节两聚焦透镜,使两个独立的光丝在空间上共线并且首尾叠加,形成一个延长的均匀光丝;移动样品位置使首尾叠加的光丝在样品上产生最大深径比的微孔。本发明能显著提高所加工微孔的质量和深径比,微孔直径调节范围广,对加工环境无特殊要求,加工效率高,加工成本低。

    基于飞秒激光制备超亲水-超疏水复合SERS基底的方法

    公开(公告)号:CN109877472B

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201910321304.0

    申请日:2019-04-22

    IPC分类号: B23K26/57 B23K26/14 B23K26/00

    摘要: 本发明涉及一种基于飞秒激光制备超亲水‑超疏水复合SERS基底的方法,属于激光应用技术领域。该方法采用飞秒激光选择性沉积实现超疏水表面与亲水基底的结合,后用激光直写选择性加工出超亲水区域,实现图案化超亲水‑超疏水相间表面的制备。这种制备方法仅需飞秒激光,且无需移动样品,适用于任意本征亲水基底,为超亲水‑超疏水复合SERS基底的制备提供了一种简单高效、灵活、适用范围广的加工方案。此外在液滴浓缩过程中辅助加热,利用水蒸气膜使含目标分子和Au纳米颗粒的液滴完全浓缩至超亲水区域,实现浓缩面积的可控从而输出稳定拉曼检测信号。

    一种蛋白质基体微透镜阵列衍射器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN110703372A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201910881861.8

    申请日:2019-09-18

    摘要: 本发明涉及一种蛋白质基体微透镜阵列衍射器件及其制备方法,属于生物检测设备技术领域。该蛋白质基体微透镜阵列衍射器件的基体为蛋白质结晶体,蛋白质结晶体上最大边长L所在的一个表面上加工有微透镜状凸起阵列。本发明d1蛋白质基体微透镜阵列衍射器件,将测量量转化为衍射图样的形状、分布、间距等更容易测量的物理量,提高了检测精度和灵活性。本发明的蛋白质基体微透镜阵列衍射器件制备方法,使用蛋白质单晶作为微透镜阵列衍射器件的基体,在溶液环境中更稳定,使用寿命更长,使用范围更广泛。本发明的微透镜阵列加工的方法为使用飞秒激光加工,直接形成微凸起,加工简便,热损伤小。

    一种提高激光图案化加工均匀性的方法

    公开(公告)号:CN109590604B

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201910043389.0

    申请日:2019-01-17

    IPC分类号: G02B27/48 B23K26/06 G03H1/32

    摘要: 本发明涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法,属于激光应用技术领域。本发明通过采用隔行拆分的方法,将待加工图案拆解成一系列的子图案,依据傅里叶迭代算法计算每张子图案的相位图,而后通过将相位图依次载入空间光调制器获得整形光场,利用整形光场在材料上加工出各个整形光场所对应的子图案,这些子图案最终组合成完整的加工图案。以此解决采用单张相位图进行激光空间光场整形加工时,由于光场的斑点噪声所带来的能量沉积不均的问题,从而达到提高激光图案化加工均匀性的目的。该方法原理简单,显著提高了加工结果的均匀性,具有很强的实用性。

    一种实现在纳米尺度下激光辅助金离子化学还原的方法

    公开(公告)号:CN109868462A

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201910240590.8

    申请日:2019-03-28

    IPC分类号: C23C18/18 C23C18/42 B82Y40/00

    摘要: 本发明涉及一种实现在纳米尺度下激光辅助金离子化学还原的方法,属于激光化学应用技术领域。本发明利用飞秒激光器产生的飞秒激光单脉冲,对硅基材料进行加工,通过控制飞秒激光通量以及扫描速度与方向,得到改性波纹结构,利用无电沉积的方式,在飞秒激光加工区域实现金离子的区域选择性还原生长;通过控制化学反应相关参数,实现对沉积金颗粒的位置与形貌的控制。对比现有技术,本发明无需复杂的反应体系与材料表面处理,降低了加工成本,简化了加工过程,提高了制备效率,实现了飞秒激光对金属离子化学还原沉积位点的简易控制。

    飞秒激光高效稳定改性透明材料均匀成丝方法

    公开(公告)号:CN109848547A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201910274495.X

    申请日:2019-04-08

    IPC分类号: B23K26/00 B23K26/53

    摘要: 本发明涉及一种飞秒激光高效稳定改性透明材料均匀成丝方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明通过对飞秒激光进行时空协同整形,时域上调控子脉冲时间间隔和作用时间,让前序子脉冲激发自由电子产生的等离子体增强材料对飞秒激光的吸收率,使后续子脉冲能量得到有效沉积;同时时域整形会分解脉冲能量,减小由高能量带来的自聚焦尾部分叉效应,实现透明材料改性成丝区的均匀一致性;空域上将单束飞秒激光整形为多束激光同时加工,极大提高了加工效率。本发明方法操作简单易行,无需掩膜及移动样品,对样品平移台精度没有要求,有效提高了飞秒激光改性透明材料内部成丝稳定性和均匀性,避免了表面磨损,增强了信息机密性。

    一种提高激光图案化加工均匀性的方法

    公开(公告)号:CN109590604A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201910043389.0

    申请日:2019-01-17

    IPC分类号: B23K26/06

    摘要: 本发明涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法,属于激光应用技术领域。本发明通过采用隔行拆分的方法,将待加工图案拆解成一系列的子图案,依据傅里叶迭代算法计算每张子图案的相位图,而后通过将相位图依次载入空间光调制器获得整形光场,利用整形光场在材料上加工出各个整形光场所对应的子图案,这些子图案最终组合成完整的加工图案。以此解决采用单张相位图进行激光空间光场整形加工时,由于光场的斑点噪声所带来的能量沉积不均的问题,从而达到提高激光图案化加工均匀性的目的。该方法原理简单,显著提高了加工结果的均匀性,具有很强的实用性,通过隔行拆分待加工图案来提高能量沉积均匀性的方法能够在基于空间光调制器的激光空间光场整形图案化加工中起到重要作用。

    一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法

    公开(公告)号:CN109014566A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201811200029.9

    申请日:2018-10-16

    发明人: 姜澜 刘威 胡洁

    IPC分类号: B23K26/00 B23K26/70

    CPC分类号: B23K26/00 B23K26/704

    摘要: 本发明涉及一种基于电子动态调控的简易的控制飞秒激光诱导表面周期性结构排布方向垂直于扫描方向的方法,属于激光应用技术领域。本发明利用飞秒激光器产生飞秒激光单脉冲,然后利用迈克尔逊干涉仪结构与四分之一波片的组合光路将飞秒激光单脉冲转变为偏振方向相互垂直的飞秒激光双脉冲,将此垂直偏振的飞秒激光双脉冲通过光学物镜垂直聚焦到待加工材料表面;控制待加工材料以设定的移动速度与移动路径运动,即可在材料表面加工出与扫描方向相垂直的周期性结构。对比现有技术,本发明无需复杂的旋转控制装置与计算机程序设计,只需要改变扫描方向,即可实现对飞秒激光诱导表面周期性结构排布方向的简易控制,降低了加工成本,提高了加工效率。