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公开(公告)号:CN116448044A
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202310474164.7
申请日:2023-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出微纳弧度量级二维角度检查装置与方法。该装置由角度发生装置、底座、角度测量装置、驱动模块电路板、主控模块电路板以及显示、输入模块电路板组成;该方法使用两套驱动装置和两台自准直仪,分别将小角度检查仪的角度发生能力与角度测量能力扩展至滚转角与俯仰角两个方向,从而使小角度检查仪具有发生二维标准角度的能力;本发明将角度测量装置的分辨力提升至微纳弧度量级,因此解决了小角度检查仪不具备高分辨力的问题;将行程大、位移分辨力低的丝杠电机与行程小、位移分辨力高的压电陶瓷组合使用,分别实现大行程范围内的粗定位及小范围的精确补偿,从而使角度发生装置具有在全行程内发生微纳弧度量级微小角度的优势。
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公开(公告)号:CN113687378B
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202110945454.6
申请日:2021-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S17/36 , G01S7/4911 , G01S7/4915 , G01S7/4912 , G01S7/4913
Abstract: 本发明提出一种基于单光源多频混合外差式激光绝对测距系统及测距方法,所述方法通过对双纵模激光器进行多声光移频以获得多频率激光,利用光源的双纵模间隔构建精测尺,多声光移频器的移频差构建粗测尺,并依靠多反射镜反射与偏振棱镜分光合光实现多频光束共光路传输,避免传统方法中采用光纤耦合器合光带来的光损耗,实现高功率多波长绝对距离测量。
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公开(公告)号:CN116345175A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202310215667.2
申请日:2023-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微波透射幅值可电控调节的高透光双模光窗属于光学透明电磁屏蔽及微波通信领域,该光窗由依次重叠且平行配置的集成图案化相变材料的电控可调超表面层和透明介质层构成;其中电控可调超表面层由集成图案化相变材料的电控可调超表面阵列单元周期性密接排布构成,且电控可调超表面层两侧边缘部分具有金属电极和与金属电极连通的引线。本发明解决了现有的光窗难以同时实现宽波段高光学透明性、微波透射幅值可调以及响应时间快的问题。
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公开(公告)号:CN116256091A
公开(公告)日:2023-06-13
申请号:CN202310076580.1
申请日:2023-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L1/25
Abstract: 一种基于步进差分声时差的空耦超声高空间分辨率应力测量方法。根据倾角组装测量装置;设置激励空耦超声换能器与接收空耦换能器的使Lamb波的传播距离为L0,测量此时的声时差TL0并代入利用标定的应力系数K1,L0获得L0段的平均应力σL0;保持激励空耦超声换能器位置不变,采用步进方式使接收空耦超声换能器移动ΔL,使Lamb波的传播距离增加至L;使L=L0+ΔL;Lamb波的传播距离为L的应力系数为K1,L=L/L0·K1,L0;获得L段的平均应力σL;通过σL0、σL以及ΔL段的应力值σΔL的关系得到。用以解决空耦超声Lamb波应力测量方法存在测量精度与空间分辨率的矛盾问题及耦合材料对待测件带来的二次污染问题。
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公开(公告)号:CN116168778A
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN202211578705.2
申请日:2022-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种二重对称P‑B相位高透光超表面结构序及单元图案设计方法,属于人工电磁超材料领域。所设计的二重对称P‑B相位高透光超表面是由图案层、透明介质层、金属网栅层顺序层叠组成的编码超表面,本发明提出基于传输矩阵与等效电路方法实现图案层栅网化单元图案贴片几何参数设计,大幅度降低设计时间,简化设计进程,可应用于不同目标频段图形贴片设计。同时,超表面结构序由本发明所提出的关于目标频段内多点散射特性的适应度函数优化设计得到,使编码超表面在目标频段内具有低散射性能。另外,所设计的超表面可实现宽波段高透光,广泛应用于航空航天、医疗、精密仪器设备的高性能光窗中,应用前景广阔。
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公开(公告)号:CN115342955B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202210926522.9
申请日:2022-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于回波幅值自适应加权补偿的应力高精度测量方法,属于应力测量技术领域,用于解决现有实际应力测量场合下,超声波同频带的噪声对信号产生干扰等情况,最终造成应力检测精度不高的技术问题,包括:采集待测构件未安装时的理想回波信号和安装但未加载预紧力时的超声回波信号;预设误差允许值、初始权重矩阵等与理想回波信号和超声回波信号进行权重矩阵训练,得到初始输出信号和最佳维度的权重矩阵;构建未知应力下的含噪声矩阵,并通过最佳维度的权重矩阵对其进行去噪处理,得到无噪声输出信号;通过初始输出信号和无噪声输出信号求解实际声时延迟量,并基于声弹性效应处理实际声时延迟量,以求解待测构件的内部应力。
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公开(公告)号:CN114942018B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202210599645.6
申请日:2022-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波前零差干涉的垂向激光指向校正装置及方法,包括:通过垂向激光发生模块获得线偏振垂向激光信号,将线偏振垂向激光信号传输至一体化传感模块,基于一体化传感模块产生波前干涉信号;将波前干涉信号输入信号处理模块进行高精度解耦运算,获得垂向激光相对于重力方向的角度偏差结果,根据角度偏差结果,实现垂向激光指向的实时校正。本发明的垂向激光指向校正装置完全基于激光干涉测量原理,测量分辨力高,角度测量结果可直接溯源至激光波长,满足了高端装备对超精密垂向激光指向的需求。此外,本发明装置的一体化传感模块便于拆卸与重复安装,方便复用于多套装置,节省成本。
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公开(公告)号:CN111046326B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN201911370033.4
申请日:2019-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于三误差耦合的大型高速回转装备误差分离方法。步骤1:三组电容传感器分布于航空发动机叶片上;步骤2:安装完传感器后,使转子转位一圈,利用安装的传感器对叶尖间隙进行测量;步骤3:滤去干扰信号;步骤4:基于滤波后的三组测量数据以及相关数学模型分离得到静子内表面径向尺寸跳动量、转自轴心初始安装位置以及转自轴心运动轨迹;步骤5:完成三误差量的评定后结束。大型高速回转装备静子内壁的圆度误差,转静子安装偏心以及大型高速回转装备转子的回转误差。对这些误差进行分离并以此为基础对大型高速回转装备的装配过程进行指导有利于改善其转静子间隙的均匀性,需要对各个误差进行分别测量,操作繁琐,耗时较长。
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公开(公告)号:CN113917797B
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202111110625.X
申请日:2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域,公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法,运动台包括基座、工作台和控制装置,工作台设置于基座的上方,工作台的下表面设置有多个凹槽,控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块,第一电机组设置在工作台的侧面,用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动,第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中,第二电机组抵在工作台的底面,用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动,位置检测模块检测工作台的实时位置;第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制,从而提高对运动台的控制精度。
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