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公开(公告)号：CN116456816A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310338732.0
申请日：2023-03-31
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化铪基铁电电容器及其制备方法；本发明的制备方法如下：首先，在Si/SiO2衬底上采用磁控溅射沉积形成底电极，然后，采用原子层沉积技术生长ZrO2籽晶层，在籽晶层上依次生长氧化铪基铁电薄膜和氧化铝覆盖层，并采用快速热退火形成铁电相，最后利用光刻、电子束蒸发、剥离制备顶电极得到铁电电容器。在本发明的电容存储器结构中，通过添加氧化锆ZrO2作为氧化铪基铁电薄膜的籽晶层，来优化氧化铪基铁电薄膜与底电极之间的界面，增加了退火后铁电薄膜中铁电相的成分，实现高性能的电容存储功能。
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公开(公告)号：CN113541671B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202010319722.9
申请日：2020-04-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H03K19/00 , H03K19/003 , H02M1/088
Abstract: 本发明提供一种驱动能力可自适应调整的输出驱动电路，受外部电路的控制时钟信号Clk‑ctrl以及上电信号Start‑up控制，用于提供集成电路的驱动电流，其特征在于，包括：P端反相器链、N端反相器链、n(n为任意正整数)个P端输出反相器、n个N端输出反相器、n个P端输出PMOS管、n个N端输出NMOS管、n个P端输出反相器控制开关、n个N端输出反相器控制开关、采样开关SW、输入数据开关Kin和测试数据开关Kcal、高速比较器阵列、误差过滤电路、负载判别电路、驱动电流选择电路、输入脉冲频率判别电路以及控制器电路。
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公开(公告)号：CN110589875B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201910873471.6
申请日：2019-09-17
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明首先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，然后采用原子层沉积技术和水热法相结合的工艺制备支化氧化锌纳米线，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线多级异质结构。本发明的制备方法具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与MEMS工艺兼容等优点。制得的多级复合气敏纳米材料能够对1 ppm级微量硫化氢实现超灵敏、高选择性探测，同时能够对有机挥发性气体进行微量检测，进而为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN113541671A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202010319722.9
申请日：2020-04-21
Applicant: 复旦大学
IPC: H03K19/00 , H03K19/003 , H02M1/088
Abstract: 本发明提供一种驱动能力可自适应调整的输出驱动电路，受外部电路的控制时钟信号Clk‑ctrl以及上电信号Start‑up控制，用于提供集成电路的驱动电流，其特征在于，包括：P端反相器链、N端反相器链、n(n为任意正整数)个P端输出反相器、n个N端输出反相器、n个P端输出PMOS管、n个N端输出NMOS管、n个P端输出反相器控制开关、n个N端输出反相器控制开关、采样开关SW、输入数据开关Kin和测试数据开关Kcal、高速比较器阵列、误差过滤电路、负载判别电路、驱动电流选择电路、输入脉冲频率判别电路以及控制器电路。
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公开(公告)号：CN113504374A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110636010.4
申请日：2021-06-08
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种利用Fe3O4@MXene核壳结构纳米复合物实现β‑淀粉样蛋白精确检测的方法。其采用FAM修饰的β‑淀粉样蛋白适配子（FAM‑aptAβ）作为荧光供体，Fe3O4@MXene核壳结构纳米复合物作为荧光受体。利用MXene的荧光淬灭性质达到FAM‑aptAβ荧光淬灭，利用Aβ与FAM‑aptAβ的强亲和性达到荧光恢复，不同浓度Aβ达到不同的荧光恢复效果，最终利用多体积微流控芯片作为荧光检测装置实现Aβ的精确检测。本发明方法克服了传统检测方法需要大型设备，检测精度低，周期长的缺陷，实现了疾病标志物的快速、精确检测，对临床疾病标志物的即时检验的具有重要借鉴价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111874954A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010710054.2
申请日：2020-07-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于碳颗粒修饰的介孔氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用自牺牲模板法，对溶剂热法制备得到的模板材料Fe-MOF纳米棒进行一步煅烧的工艺，得到了碳颗粒修饰的介孔氧化铁纳米棒异质结构。本发明的材料制备方法具有成本低、合成工艺简单、制备效率高和可规模化生产等优点。制得的异质气敏纳米材料能够对ppb级微量丙酮气体实现超灵敏、高选择性探测，不仅能够广泛应用于化工产业和实验室等气体泄漏排放的监测，同时应用于人体呼出气检测可实现对I型糖尿病的筛查，应用于环境检测和医疗健康领域。
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公开(公告)号：CN111285409A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010105378.3
申请日：2020-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，后采用水热法制备支化氧化铁纳米棒，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒多级异质结构。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与硅集成电路工艺兼容等优点。本发明构建的基于异质结的多级复合纳米结构，其应用于气体传感时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间大幅缩减，展现了更加优异的气敏性能；其能够对微量甲醛能实现超灵敏、高选择性探测，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN110608825A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910861741.1
申请日：2019-09-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚酰亚胺基底微结构的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的柔性压力传感器包括下层柔性基底、力敏结构层和上层柔性封装层；下层柔性基底为聚酰亚胺薄膜，其上表面具有凸起的微结构阵列；力敏结构层与下层柔性基底上表面紧密贴合，其从下至上包括下部电极层、柔性压阻材料层和上部电极层，柔性压阻材料层是具有压阻特性的碳基纳米颗粒/聚合物压阻材料；上层柔性封装层与力敏结构层上表面紧密贴合，用以保护传感器和防水。本发明通过采用自下而上的微纳制造技术制备基于聚酰亚胺基底微结构的柔性压力传感器，具有灵敏度高、超薄超轻、工艺简单、易于阵列化制造和应用性强的优点。
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公开(公告)号：CN110501095A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910664135.0
申请日：2019-07-23
Applicant: 复旦大学
IPC: G01L1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于荷叶微棘突/MXene复合结构的仿生柔性压力传感器。该传感器包括：压力感知层——带有荷叶表面微棘突结构的聚二甲基硅氧烷（PDMS）；压力处理层——多层Ti2C-MXene薄膜；信号输出层——柔性电极，用于支撑保护Ti2C-MXene薄膜及输出压力信号转化的电信号。本发明的基于荷叶微棘突/MXene复合结构的仿生柔性压力传感器无需进行复杂的结构设计和制作工艺就能兼具高灵敏度、宽线性度、低响应时间、高稳定性等优良特性。
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公开(公告)号：CN109709192A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811530398.4
申请日：2018-12-14
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/407 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化钨/氧化锡核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用一种较为简便的、可大批量合成的溶剂热法制备氧化钨核层纳米片，结合原子层沉积技术合成氧化锡层，得到了氧化钨/氧化锡核壳结构纳米片。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可大规模化生产等优点。本发明构建的基于n-n异质结的核壳结构材料结合微机电系统，作为气体传感器时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间大幅缩减，并且可在复杂环境中对氨气（NH3）气体具有优异的选择性，可为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。
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