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公开(公告)号：CN113257687A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110513623.9
申请日：2021-05-11
申请人： 中山大学
摘要： 本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种半导体的微纳结构包层覆盖方法，包括如下步骤：步骤一：在微纳结构上涂覆一层光刻胶；步骤二：对光刻胶进行曝光。且本发明的光刻胶采用无机光刻胶的HSQ光刻胶。通过在微纳结构上涂覆一层光刻胶并进行曝光后，形成包层，由于光刻胶用作抗腐蚀涂层材料，因此，对微纳结构具有保护作用，且光刻胶是一类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，由于具备比较小的表面张力的特性，使得光刻胶具有良好的流动性和均匀性，可均匀涂覆在微纳结构表面，在经过曝光固化后，可使形成的包层表面平整。
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公开(公告)号：CN112731783A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011492195.8
申请日：2020-12-16
申请人： 中山大学
摘要： 本发明提供一种高通量单像素全息成像方法，包括：激光源发射激光经过偏光分束器后分为信号光及参考光；信号光经第一调制器调制至第一频率后映射在DMD上直接调制二元强度图案，再通过光学透镜系统直接共轭面映射到样品后进入分束镜；参考光经第二调制器调制至第二频率后由反射镜引导至分束镜；信号光与参考光在分束镜上进行合束干涉，并在干涉中拍频出高速震荡相干信号；合束干涉后的光聚焦到单像素探测器上，并经过数据采集及信号处理单元处理得到完整图像。本发明中通过对信号光及参考光分别进行调制，使其在分束器中干涉且同时产生随时间变化的高速震荡相干信号，即拍频信号，以替代缓慢繁琐的逐步相移测量，提高成像速度。
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公开(公告)号：CN111273396B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202010174284.1
申请日：2020-03-13
申请人： 中山大学
摘要： 本发明属于半导体器件技术领域，更具体地，涉及一种可实现前向布里渊散射的硫化物‑氮化硅悬空波导设计及其制备方法。硫化物‑氮化硅悬空波导，自下而上依次是硅衬底、氧化硅层、氮化硅薄膜层、硫化物薄膜层；其中波导下面的氧化硅层部分腐蚀，呈现悬空结构。本发明提出了一种可实现前向布里渊散射的硫化物‑氮化硅悬空波导结构，氮化硅结构的引入起到了支撑硫系薄膜的作用，克服了硫化物质软，难以实现悬空的难点，同时氮化硅与硫化物相比，折射率较小，声学声速性质相差较大，有利于实现对光场和横向声场的同时局限，仿真得到的前向布里渊增益系数为1415m‑1W‑1，证明了该结构可以用来实现前向受激布里渊散射以及光机械等应用的可能性。
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公开(公告)号：CN111103740B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201911135771.0
申请日：2019-11-19
申请人： 中山大学
摘要： 本发明属于半导体技术领域，更具体地，涉及一种批量化高品质因子硫系悬空微盘制备方法。包括以下步骤：1)在无机衬底上旋涂聚合物电子胶，并通过曝光和显影技术沿垂直衬底方向制备出圆柱状结构；2)在电子胶上沉积一层硫系薄膜，以圆柱形为中心，进行图案化并刻蚀出盘状结构；3)通过除胶剂去除聚合物电子胶，获得悬空微盘结构；4)对微盘结构进行热回流提升品质因子。本发明采用电子胶作为“过渡衬底”，作为微盘的反模板结构和支撑物，方便去除，避免了传统制备方法中在氧化硅衬底上需要浸泡氢氟酸的问题，也解决了氢氟酸浸泡时间长导致微盘塌陷的现象，环保高效，适合批量化悬空微盘制备，同时适用于多种材料的悬空微盘制备。
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公开(公告)号：CN112444817A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202011252458.8
申请日：2020-11-11
申请人： 中山大学
IPC分类号： G01S17/02 , G01S17/894
摘要： 本发明涉及一种主被动探测结合的远红外激光雷达装置及测量方法。激光器的输出端口与电光调制器的光源输入端口连接，任意函数发生器的波形输出端口与电光调制器的微波信号输入端口连接，电光调制器的信号输出端口与硫系芯片的输入端口连接，硫系芯片的输出端口与分束器连接，分束器的主光束输出端与光放大器的输入端连接，光放大器的输出端与微光学衍射元件连接；分光束的本振光束的输出端与本振延迟器连接；本振延迟器的输出端、以及光电探测器的输出端均与相干接收机的输入端连接，相干接收机的输出端与控制计算机连接，控制计算机与图像处理装置连接。本发明在识别算法复杂度、系统结构复杂度等多个方面，得到了有效提升。
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公开(公告)号：CN112068381A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010802226.9
申请日：2020-08-11
申请人： 中山大学
摘要： 本发明属于集成非线性光学技术领域，涉及光波导结构，更具体地，涉及一种用于分子检测的宽带红外复合光波导及其制备方法。包括至少两层波导单元，波导单元与波导单元之间层叠设置组合为复合光波导结构，所述的波导单元由下至上依次包括基底层、硫系玻璃下波导层、低折射率中间夹缝层以及硫系玻璃上波导层。本发明通过优化本发明提出的光波导结构，实现宽带的相位匹配，通过四波混频效应将中红外波段分子特征信号转换至通讯波段，并通过通讯波段价格低、高性能探测器实现中红外的分子信号探测，解决了中红外探测器昂贵、分辨率低、信噪比低、需要冷却系统等难题，为中红外分子检测提供了可行的片上实现方案。
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公开(公告)号：CN111965756A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010646031.X
申请日：2020-07-07
申请人： 中山大学
摘要： 本发明涉及一种基于硫化物-硅基光栅耦合器及其制备方法。自上而下包括上包层、硅基光栅结构、氮化硅层和硫化物薄膜层，采用氧化硅或者苯并环丁烯聚合物为上包层材料。制备方法是先在氧化硅衬底上热蒸镀一层硫系薄膜材料，并采用优化后的退火步骤对硫系薄膜进行退火，以达到薄膜损耗、增加材料稳定性的目的。之后在硫系材料上面利用低温化学气相沉积分别生长氮化硅和非晶硅薄膜材料，接着在非晶硅薄膜层刻蚀出光栅结构，最后在硅基光栅结构上覆盖上包层。本发明的光栅耦合器得到了高达75％的耦合效率，该结构的提出不仅丰富了现有硫系片上器件的耦合方式，而且采用的制备工艺与CMOS工艺兼容，这为硫化物器件的制备与完善提供了支撑。
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公开(公告)号：CN111948805A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010641439.8
申请日：2020-07-06
申请人： 中山大学
摘要： 本发明涉及微纳光学技术领域，更具体的是涉及一种可实现坐标变换的超表面组及其超表面的制备方法，包括顺次分布排列在同一光路上的透镜、第一超表面，第二超表面，第一超表面包括第一基底和第一纳米结构层，第二超表面包括第二基底和第二纳米结构层，第一纳米结构层沉积在第一基底上，第二纳米结构层沉积在第二基底上，第一基底靠近透镜，第一纳米结构层靠近第二基底。本发明通过设置两块超表面，一块超表面作为转换器，另一块超表面作为补偿器，对入射光进行坐标变换；当入射光束数量增加时，不需要增加额外的超表面，即可完成对所有入射光进行坐标变换的工作，且不会降低光束的能量效率。
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公开(公告)号：CN111721839A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010404064.3
申请日：2020-05-13
申请人： 中山大学
IPC分类号： G01N29/46
摘要： 本发明属于光信号处理领域与传感领域，涉及一种基于数字光频梳与微腔阵列的高灵敏超声探测方法。利用了光通信领域先进信号处理技术，得到了具有一定带宽的数字光频梳信号，利用数字光频梳信号对微腔光子器件进行扫描，得到超快以及高精度的微腔谐振峰扫描谱线。同时，还制作了只需要一条光路系统耦合多个微腔结构，实现多个微腔的谐振峰的等间隔波长分布。通过设计多个微腔的谐振峰的波长位置，可实现数字光频梳对这大量微腔结构的各自谐振峰的频率、功率进行快速、高精度的探测，可显著提高超声波阵列探测的效率以及处理难度，可应用于超声波的阵列探测、光声成像等领域，同时也为实现集成化、小型化的超声相控阵探测器的研究提供了基础。
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公开(公告)号：CN111103740A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911135771.0
申请日：2019-11-19
申请人： 中山大学
摘要： 本发明属于半导体技术领域，更具体地，涉及一种批量化高品质因子硫系悬空微盘制备方法。包括以下步骤：1)在无机衬底上旋涂聚合物电子胶，并通过曝光和显影技术沿垂直衬底方向制备出圆柱状结构；2)在电子胶上沉积一层硫系薄膜，以圆柱形为中心，进行图案化并刻蚀出盘状结构；3)通过除胶剂去除聚合物电子胶，获得悬空微盘结构；4)对微盘结构进行热回流提升品质因子。本发明采用电子胶作为“过渡衬底”，作为微盘的反模板结构和支撑物，方便去除，避免了传统制备方法中在氧化硅衬底上需要浸泡氢氟酸的问题，也解决了氢氟酸浸泡时间长导致微盘塌陷的现象，环保高效，适合批量化悬空微盘制备，同时适用于多种材料的悬空微盘制备。
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