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公开(公告)号：CN205645745U
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201620519252.X
申请日：2016-05-31
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H01J17/18
摘要： 陶瓷毛细管放电装置，涉及陶瓷毛细管放电技术，为了解决陶瓷毛细管与管座不能紧密配合造成工作失常的问题。该装置包括陶瓷毛细管和两个管座，两个管座的结构相同，管座为圆筒，圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板，陶瓷毛细管的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛细管与小孔之间的空隙充满702胶。本实用新型的管座与陶瓷毛细管固化成一体，不会出现打穿现象，本实用新型适用于在大电流快脉冲时放电。
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公开(公告)号：CN205681358U
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201620641543.6
申请日：2016-06-24
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H02P9/06
摘要： 毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，涉及电源，为了解决现有主脉冲放电电源的体积庞大的问题，电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器三相电压输入端的三端相连，高压调压器的输出端与高压变压器的输入端相连，高压变压器的输出端与主脉冲主放电电源主体的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体的初级高压输出端与脉冲压缩装置的电压输入端相连，控制柜的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体的控制信号输入端相连，控制柜的控制信号输出端二与脉冲压缩装置的控制信号输入端相连。本实用新型的电源结构紧凑，装置简单，便于应用，适用于为极紫外光源提供电源。
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公开(公告)号：CN205670231U
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201620599403.7
申请日：2016-06-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 激光辅助放电EUV光源放电系统，涉及极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻光源领域，目的是为了满足Sn介质激光辅助放电等离子体(LDP)EUV光源的发展需要。该放电系统的高压电极与地电极为同轴设置的两个圆盘，多根金属杆位于两个圆盘之间、并且与圆盘的轴线平行，其中一根金属杆固定在高压电极的中心位置，其余的金属杆固定在地电极上，并且以地电极的中心为圆心、沿周向均匀分布，地电极的中心位置开有小孔；Sn靶安装在位于中心位置的金属杆的端部，该金属杆与其余的金属杆之间通过绝缘套隔开。该放电系统结构简单，成本低廉，适用于激光辅助放电等离子体EUV光源。
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公开(公告)号：CN205670210U
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201620599404.1
申请日：2016-06-17
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，涉及收集镜片的装配技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。一个支撑杆与一个压板相配合；轮缘为圆环，圆环的环形内设有多根辐条；辐条上开有N个凹槽，多根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，圆环上均匀固定多个支撑杆，支撑杆上可拆卸地固定与其相配合的压板，压板将卡合在凹槽中的收集镜片压紧；基座为L架，L架底板的上表面是与轮缘的外表面相配合的弧面，轮缘固定在基座上。本实用新型的结构简单，适用于装配收集镜。
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公开(公告)号：CN205629656U
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201620507289.0
申请日：2016-05-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/064
摘要： 激光辅助锡介质放电极紫外光源小焦斑光学聚焦系统。涉及一种光电测量技术。为了解决现有的聚焦系统的焦斑半径过大，导致固体锡汽化效果不好的问题。石英窗设置在电真空室的侧壁上，全反镜位于电真空室内部，激光器发射的激光束垂直照射在石英窗上；一号外壳和二号外壳均为空心圆柱体，一号外壳和二号外壳同轴设置，全透镜固定在二号外壳的内壁上；双球面凸透镜和单球面凸透镜均位于一号外壳内部；变焦环和对焦环均位于一号外壳的外壁上，光学系统位于激光器和石英窗之间。有益效果为照射在电真空室内锡靶上焦斑直径能小于20μm，能够将固体锡充分汽化。本实用新型适用于对固体锡进行汽化。
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