公开(公告)号：CN104848934A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201510235879.2

申请日：2015-05-08

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  吴剑威 ,  崔俊宁

IPC分类号： G01H17/00

摘要： 涡流补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧表面，且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称的闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，在与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。

公开(公告)号：CN104833468A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201510235648.1

申请日：2015-05-08

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  何张强 ,  崔俊宁

IPC分类号： G01M7/04 ,  B06B1/04

摘要： 四磁路对称励磁的矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，四个永磁体对称安装在两个外磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成四个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。

公开(公告)号：CN103062308B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210575185.X

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 王雷 ,  崔俊宁 ,  谭久彬 ,  赵勃

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16C32/06

摘要： 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062321B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201210578291.3

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103032515B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201210578292.8

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027

摘要： 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062311B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210575350.1

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 双层气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062307B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210575172.2

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 王雷 ,  崔俊宁 ,  谭久彬 ,  赵勃

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16F6/00 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。

公开(公告)号：CN103062297B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210574693.6

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间采用磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062295B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210574657.X

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。

公开(公告)号：CN103062292B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210574278.0

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，套筒与气浮板之间通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。