公开(公告)号：CN101277784B

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200680036288.1

申请日：2006-10-30

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 佐野博

IPC: B23Q3/06

CPC classification number: B25B5/061 ,  B25B5/006 ,  B25B5/122

Abstract: 提供了一种轻质且紧凑的夹紧装置(10)，其可以用简单结构来方便地调节处于未夹紧状态的第一夹紧杆的等待位置。该夹紧装置(10)包括底部(21)、附接至该底部(21)且可作线性运动的气缸致动器(31)、以及第一夹紧杆(42)。臂(41)使该第一夹紧杆(42)基于该气缸致动器(31)的气缸移动以靠近或离开第二夹紧杆(22)的方向旋转。该底部(21)与该气缸致动器(31)间设置有附接装置，该附接装置能够沿该气缸致动器(31)的直线运动方向改变该气缸致动器(31)附接至该底部(21)的附接位置。

公开(公告)号：CN101255929B

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200810081264.9

申请日：2008-02-26

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 马明满 ,  伊藤一寿

IPC: F16K27/00 ,  F16L41/02

CPC classification number: F16K27/003 ,  F15B13/0814 ,  F15B13/0871 ,  F16L39/00 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/87885

Abstract: 一种可连接到流体控制装置上的形成有通道的通道块包括：第一块构件，该第一块构件形成有多个第一联接面孔隙；第二块构件，该第二块构件形成有与第一联接面孔隙相对应的多个第二联接面孔隙；第一通道端接触部分，该第一通道端接触部分形成在每个第一联接面孔隙周围；第二通道端接触部分，该第二通道端接触部分形成在每个第二联接面孔隙周围；并且以如下方式设置通道端接触部分，该设置方式使得第一块构件的下表面和第二块构件的上表面布置成彼此相对，从而第一和第二通道端接触部分相互接触，并且第一和第二块构件在压力下被加热，以将所述第一和第二通道端接触部分相互扩散结合。

公开(公告)号：CN101414162B

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200810166192.8

申请日：2008-10-15

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 伊藤一寿 ,  西村康典 ,  西川桂一 ,  杉野彰仁

IPC: G05B19/04 ,  G05D7/01 ,  G05D7/06 ,  H01L21/00 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45523 ,  C23C16/45561 ,  Y10T137/877

Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元，其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。

公开(公告)号：CN101839355A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN201010135748.4

申请日：2010-03-16

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小泽幸生 ,  矢岛孝视 ,  冈部庸之 ,  大仓成幸

IPC: F16K11/085 ,  F16K5/04

CPC classification number: F16K11/0856 ,  Y10T137/4358 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/86863 ,  Y10T137/86871

Abstract: 本发明涉及一种旋转型切换阀，能够防止主流体从间隙部泄漏。旋转型切换阀具有：阀主体(2)，形成流动有工艺气体的腔室连通路(24)和将主流体排出的排放连通路(25)；以及圆筒阀芯(3)，可旋转地保持在阀主体(2)内，内部形成供主流体流动的主流路(31)，通过使圆筒阀芯3旋转，能够将主流路(31)在腔室连通路(24)和排放连通路(25)之间切换，其中，具有用于使清洗气体向阀主体(2)和圆筒阀芯(3)之间的间隙部(11)流动的清洗气体流路(22a、22b、22c、22d、22e)，通过使清洗气体向间隙部(11)流动，防止主流体从主流路(31)泄漏。

公开(公告)号：CN101766940A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN200910258802.1

申请日：2009-12-16

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 国崎雄嗣 ,  井户田健

IPC: B01D46/24 ,  B01D45/12

Abstract: 本发明提供一种，可以维持从气体中分离异物的性能的同时，还能使大量的气体流过的过滤装置。该过滤装置具备通气窗(R)。沿通气窗(R)的通气窗主体(30)的外周面延伸的假想圆(C)的切线(F)被包含在形成于第1和第2叶片(311，312)之间的缝隙(35)的内底面(35a)中。切线(F)和假想圆(C)在假想圆(C)的顶点(CT)相交。第1和第2叶片(311，312)的内侧面(311a，312a)和缝隙(35)的内底面(35a)分别在基准位置(P1)和交叉位置(P2)相交。假想圆(C)的顶点(CT)位于从第1叶片(311)，具体来说从基准位置(P1)向缝隙(35)内偏移的位置。

公开(公告)号：CN101072964B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200580042157.X

申请日：2005-11-21

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 正村彰规 ,  长尾敏行 ,  岩田洋辉

IPC: F16K7/17 ,  F16K31/122

CPC classification number: F16K7/14 ,  F16K31/1221 ,  F16K41/103

Abstract: 作出本发明是为了即使在控制高压流体的供应时也防止应力集中在阀元件体和隔膜的膜部分之间的边界上或在其周围，从而改进隔膜的耐用性。本发明的隔膜阀(1)包括隔膜阀元件(20)，该隔膜阀元件包括：阀元件体(21)，它可运动成与阀座(13)接触；膜部分(22)，它从阀元件体(21)向外延伸；以及固定部分(23)，它形成在膜部分(22)的外周边缘处。膜部分(22)包括与阀元件体(21)相连续的垂直形成的垂直部分(22a)、与固定部分(23)相连续的水平形成的水平部分(22c)、以及截面呈(向上突出形状的)圆弧形的连接垂直部分(22a)和水平部分(22c)的连接部分(22b)，从而将垂直部分(22a)保持为一直与支承件(40)的外表面接触。

公开(公告)号：CN100580601C

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200580019270.6

申请日：2005-06-14

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丰田哲也

IPC: G05D16/20 ,  G05B23/02

CPC classification number: G05D16/2093

Abstract: 本发明提供一种可尽早检测出真空压力传感器异常、反应炉泄漏、配管堵塞等系统异常的真空压力控制系统，在通过电位计18取得的真空比例开关阀16的阀开度达到预先设定的设定值X1时(S22：YES)、通过压力传感器14、15取得的反应室10的真空压力大于预先设定的设定值X2时(S24：NO)，判断发生了真空压力传感器异常、反应炉泄漏、配管堵塞等系统异常，进行异常处理(S25)，并且，设定值X1、X2通过实验等预先求得，以便可适当检测出真空压力传感器异常、反应炉泄漏、配管堵塞等各种异常。

公开(公告)号：CN101552190A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200910132970.6

申请日：2009-04-03

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 竹田秀行 ,  石原哲哉

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/08

CPC classification number: H01L21/67028 ,  B25B27/10 ,  F16L23/06 ,  F16L23/08 ,  F16L47/14

Abstract: 提供一种流体装置安装结构(5)，该流体装置安装结构(5)用于将多个流体装置(11－13、15、以及21－25)安装在支承组件(31)上。所述支承组件(31)包括用于通过所述支承组件(31)支承所述流体装置(11－13、15、以及21－25)的连接部的支承构件(34)，从而在三维空间中自由地布置所述流体装置(11－13、15、以及21－25)。

公开(公告)号：CN101471596A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200810190743.4

申请日：2008-12-26

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 增尾秀三 ,  金田坚

IPC: H02K37/24 ,  H02K7/06 ,  F16K31/04

CPC classification number: G05B19/0423 ,  B23Q5/40 ,  G05B19/054 ,  G05B2219/41309 ,  G05B2219/41311 ,  G05B2219/45006 ,  G05B2219/45083 ,  G05B2219/45207

Abstract: 一种电致动器(11)包括运动转换机构和位置检测器(37)。运动转换机构将马达(19)的转轴(20)的转动转换成输出轴(29)的直线运动。位置检测器(37)检测与输出轴(29)一起移动的永久磁铁M。马达控制部(39)基于主命令单元的命令控制马达(19)。控制马达(19)的控制程序包括，作为控制模式的六个流体压力缸模式，马达(19)根据该控制模式进行控制。具体地，各控制模式对应于流体压力缸由三个电磁阀，或由两位单电磁阀、两位双电磁阀及三位双电磁阀进行控制的情况中的一种。马达(19)根据所选定的控制模式进行控制。

公开(公告)号：CN101408276A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810214925.0

申请日：2008-08-29

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 中田明子 ,  伊藤一寿 ,  杉野彰仁

IPC: F17D1/02 ,  G01F1/34

CPC classification number: G01F1/34 ,  G05D7/0635

Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。