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公开(公告)号：CN109158915B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201811236321.6
申请日：2018-10-23
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种基于端齿盘定位原理的高精度快速定位装置，涉及一种定位装置。柱状基座竖直设置且上表面中部有圆槽一，外圆周面有通孔一和圆槽二，通孔一与圆槽一和圆槽二连通设置，通孔一内有夹紧机构，圆槽二与气接头的一端连接，端齿盘与柱状基座和基板连接，端齿盘上表面中部有与通孔一相连通的通孔三，接头的下端间隙地穿过所述通孔三并放置在圆槽一内，接头下端通过所述夹紧机构夹紧，接头上端与基板固定连接，基板的上端与三爪卡盘的下端可拆卸连接。本发明相比于现有结构更简单，适用于超精密零件加工过程中的定位夹紧与换位过程，减少机床80％停机时间，工作效率提高2‑3倍，可减小加工过程中的换位操作误差至0.001mm以下。
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公开(公告)号：CN111595517A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010496833.7
申请日：2020-06-03
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M1/38
摘要： 本发明公开了一种金刚石微径铣刀动平衡测试与修正系统，所述系统包括微磨削工作台和动平衡测量工作台两部分，其中：所述微磨削工作台包括精密气浮隔振平台、底座、精密运动台、压电陶瓷、电控旋转台、弹簧夹头、CCD相机、CCD安装架、竖直方向一维精密导轨、连接板、二维精密运动平台A、磨削轴安装架、高速磨削主轴、气动夹头A、砂轮磨头、二维精密运动平台B；所述动平衡测量工作台包括光电传感器、工控机、振动传感器、动平衡主轴、气动夹头B和动平衡仪。该系统可以对微铣刀进行动平衡的检测和不平衡量的处理，可以解决金刚石微铣刀在制备或磨损后由于动不平衡量导致微铣削加工过程中精度降低的难题。
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公开(公告)号：CN108648833B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201810448702.4
申请日：2018-05-11
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种可实现微球任意角度翻转的装置及操作方法，所述装置包括基座以及位于基座上的可转动二维滑台系统、一维滑台系统、主CCD图像传感器系统和副CCD图像传感器系统，所述可转动二维滑台系统由Y方向滑台A、Z方向滑台、六自由度快速安装夹具A、定位片A、气筒A、转台、转台电机组成；所述一维滑台系统由Y方向滑台B、安装板、六自由度快速安装夹具B、定位片B、气筒B组成；所述主CCD图像传感器系统由CCD图像传感器A和安装支架A组成；所述副CCD图像传感器系统由CCD图像传感器B和安装支架B组成。本发明在对微球进行全表面加工和检测时能实现微球精确翻转任意角度，并确保微球的空间重复定位精度及效率。
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公开(公告)号：CN107486601B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201710675817.2
申请日：2017-08-09
摘要： 一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法，涉及微纳米加工领域。方法是：根据需要加工的特定形貌结构，设计制作异形电极刀具；将异形电极刀具固定于夹具上，再将夹具固定于多维操纵装置的Z方向位移台上；将被加工工件固定于电解池底部，向电解池注入电解液，控制异形电极刀具逼近被加工工件，并利用多维操纵装置的XY方向位移台调整异形电极刀具与被加工工件相对位置；将辅助电极和参比电极浸入电解液中，电化学工作站的工作电极线连接异形电极刀具，启动电化学工作站，产生电化学电流；控制C方向转台使被加工工件进行旋转运动，同时加工进行；加工结束后，被加工工件表面产生要求的形貌结构。本发明用于对工件进行电化学加工。
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公开(公告)号：CN105758343B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610145389.8
申请日：2016-03-15
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B11/27
摘要： 基于双标准球的主轴回转中心标定装置及方法。机床上有X轴导轨和Z轴导轨，C轴有安有3R夹具的矩形支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R夹具和标准球二连接；测量传感器固定件在Y轴升降台前且安有白光共焦位移传感器。调节标准球一位置，驱动C轴和白光共焦位移传感器，对准标准球一球冠位置，记录位置PR(x,y)，设为标准球一回转中心位置；将3R夹具和标准球二安在支撑座上，执行标准球二球冠顶点扫描，调整白光共焦位移传感器位置，使得白光共焦位移传感器对准标准球二的球冠位置，记录位置PS(x,y)，设为标准球二参考中心位置；做差得到ΔP。本发明保障了在位检测装置的使用寿命并避免了加工过程中的机械部件干涉问题。
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公开(公告)号：CN105347298A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510877418.5
申请日：2014-08-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。
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公开(公告)号：CN103706816B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201310730009.3
申请日：2013-12-26
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23B25/06
摘要： 一种超精密车削对刀装置，属于超精密加工技术领域。其安装方便快捷，成本低廉，对刀精度高，对刀分辨率可调，是解决超精密车削对刀难题的有效手段。对刀装置基座固定于机床主轴的上端，对刀装置基座的前端固定安装有快换夹头，光学系统安装座通过快换夹头夹持固定，光学显微镜固定在光学系统安装座上，CCD图像传感器与光学显微镜连接，且光学显微镜位于CCD图像传感器的下端，刀具安装在刀架上，刀架的滑块滑动设置在刀架安装座的滑槽内，刀架安装座的滑槽与机床Z向导轨滑动配合，机床主轴固定在超精密机床上，超精密机床的滑槽与机床X向导轨滑动配合。本发明用于超精密车削对刀。
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公开(公告)号：CN104596461A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510049200.0
申请日：2015-01-31
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： G01B21/10 , G01B21/042 , G01B21/24
摘要： 本发明公开了一种用于检测三轴金刚石车床定位精度的特征样件及方法。所述特征样件包括基座和固定在基座上端的特征主体，所述基座为扁圆柱体，所述基座的上表面外边缘周向均布十二个凹槽；所述特征主体包括五个同轴设置的扁圆柱体且从上至下直径递增，相邻两个扁圆柱体之间的边缘形成台阶，所述基座与特征主体同轴设置。测量方法：使用T形布局的三轴金刚石车床加工特征样件；加工完成后，采用三坐标测量机测量特征样件的台阶高度面、圆柱直径和凹槽中心线；根据检测结果，推断出三轴金刚石车床的定位精度。本发明所设计样件具有结构简单、加工方便、且能有效反映出定位精度等特点。
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公开(公告)号：CN104128783A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410341803.3
申请日：2014-07-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23P15/34
CPC分类号： B23P15/34
摘要： 一种单刃金刚石微铣刀的制造方法，它涉及一种微铣刀的制造方法。本发明为了解决现有的制造技术主要用于钨钢微铣刀的成型加工，当加工金刚石微铣刀时存在制造精度低、和加工效率低的问题。本发明的方法是步骤一、制造刀柄：利用激光加工技术，对钨钢刀柄的端部进行微小孔加工，将小颗粒金刚石晶体放入刀柄端部的微小孔中，并放入银铜钛钎焊粉料，银铜钛钎焊粉料足以掩埋小颗粒金刚石晶体，然后把钨钢刀柄竖直放入真空热处理炉中真空钎焊；步骤二、刃磨刀头：采用机械刃磨技术，按照铣刀头的几何参数，完成金刚石微铣刀的回转半径减磨、干涉面的刃磨和单铣刀刃的成型刃磨，至此，完成单刃金刚石微铣刀的制造。本发明用于单刃金刚石微铣刀的制造。
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公开(公告)号：CN102583229B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201210066835.8
申请日：2012-03-14
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 面向微结构制造具有力反馈控制的微探针刻划加工方法。本发明属于微纳结构加工技术领域。本发明可以实现低成本、高精度、微米尺度沟槽等复杂微结构的加工。方法是：先将工件放置于X-Y向精密工作台上，根据所设定的力初值，简称设定值，使微探针刀具自动逼近工件表面并维持一个恒定的力F，该恒定的力F的初值为5-20mN，当微探针刀具与工件表面接触后，开始刻划加工，启动力闭环控制模块，Z向微动工作台上下移动，实现垂直力的实时闭环控制，X-Y向精密工作台带动工件做精密移动，实现微沟槽结构的加工；微沟槽结构加工好后，力闭环控制结束，微探针刀具由Z向粗动工作台带动向上移动脱离工件表面，加工结束。本发明用于加工工件的微沟槽结构。
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