光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物及光致抗蚀剂组合物

    公开(公告)号:CN111051374A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201880058566.6

    申请日:2018-09-11

    发明人: 黑岩贞昭

    IPC分类号: C08G8/10 G03F7/023

    摘要: 一种光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物,其特征在于,以(A)与(B)的质量比成为5~95:95~5的量包含通式(1)所表示的酚醛清漆型酚醛树脂(A)和结构中包含亚芳基骨架及萘骨架中的至少一者的酚醛清漆型酚醛树脂(B)。(通式(1)中,R1表示氢或碳原子数为1以上且8以下的直链状或支链状的烷基,可以分别相同或不同。其中,R1中的至少一个为碳原子数为1以上且8以下的直链状或支链状的烷基。p为1以上且3以下,可以分别相同或不同。q为1以上且3以下,可以分别相同或不同。其中,p+q≤4。n表示0以上的整数。)