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公开(公告)号：CN110771041B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201880034191.X
申请日：2018-03-30
申请人： 鹰港科技有限公司
摘要： 一些实施例包括高压高频开关电路。该高压高频开关电路可包括：高压开关电源，用于产生电压大于1kV且频率大于10kHz的脉冲；以及输出。该开关电路还可包括电阻性输出级，所述电阻性输出级与所述输出并联电耦接并且位于在所述输出级和所述高压开关电源之间，所述电阻输出级包括至少一个用于将与所述输出耦接的负载放电的电阻器。在一些实施例中，电阻输出级可以被配置为在每个脉冲周期期间放电超过约1千瓦的平均功率。在一些实施例中，输出可以产生高压脉冲，该高压脉冲具有大于1kV的电压、大于10kHz的频率以及小于约400ns的脉冲下降时间。
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公开(公告)号：CN115943735A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201980048964.4
申请日：2019-07-29
申请人： 鹰港科技有限公司
IPC分类号： H05H1/24 , H01J37/32 , C01B13/11 , C01B13/10 , H03K5/13 , H03K3/02 , H03K7/04 , H03K7/06 , H03K7/08 , H03K7/10
摘要： 一些实施例包括一种高电压脉冲发生电源。所述高电压脉冲发生电源可以包括：高电压脉冲发生器，其具有提供具有大于大约1kV的幅度、小于大约1μs的脉冲宽度和大于大约20kHz的脉冲重复频率的脉冲的输出；等离子体腔室；和电极，其被部署在所述等离子体腔室内，所述电极与所述高电压脉冲发生器的所述输出电耦合，以在所述等离子体腔室内产生电场。
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公开(公告)号：CN115769337A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202180047728.8
申请日：2021-07-09
申请人： 鹰港科技有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 在一些实施例中，公开了高电压电源，所述高电压电源提供了在两个随后脉冲之间不具有任何电压下降的多个高压脉冲。在一些实施例中，公开了高电压电源，所述高电压电源提供了具有多个高电压脉冲的电压随时间变化的波形，所述多个高电压脉冲具有大于1kV的电压以及具有脉冲之间实质上扁平的部分。在一些实施例中，公开了包括缓冲电路的高电压电源，所述缓冲电路具有大约7.5mΩ–1.25Ω电阻值的缓冲电阻；和具有大约2μF–35μF电容值的缓冲电容。
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公开(公告)号：CN114930488A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080089882.7
申请日：2020-12-23
申请人： 鹰港科技有限公司
摘要： 本发明的实施例包括一种等离子体系统。所述等离子体系统包括：等离子体腔室；RF驱动器，其配置为用RF频率将突发驱动到所述等离子体腔室中；纳秒脉冲发生器，其配置为用脉冲重复频率将脉冲驱动到所述等离子体腔室中，所述脉冲重复频率小于所述RF频率；高通滤波器，其部署在所述RF驱动器与所述等离子体腔室之间；和低通滤波器，其部署在所述纳秒脉冲发生器与所述等离子体腔室之间。
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公开(公告)号：CN110073598A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201780075893.8
申请日：2017-09-26
申请人： 鹰港科技有限公司
摘要： 一些实施例包括高压非线性传输线，高压非线性传输线包括：高压输入，被配置为接收具有大于5kV的第一峰值电压的电脉冲，第一峰值电压具有第一上升时间；多个电路元件，多个电路元件中的每一个具有电阻器和非线性半导体结电容器件；多个电感器，多个电感器至少其中之一电耦接在多个电路元件中的两个电路元件之间；以及高压输出，用于提供具有第二上升时间的第二峰值电压，第二上升时间比第一上升时间更快。
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公开(公告)号：CN108701532A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680069903.2
申请日：2016-11-30
申请人： 鹰港科技有限公司
IPC分类号： H01F27/28
CPC分类号： H01F30/16 , H01F27/24 , H01F27/2804 , H01F27/2866 , H01F27/2895 , H01F2027/2814
摘要： 本发明公开一种高压变压器。所述高压变压器包括：变压器铁芯；至少一个初级绕组，其缠绕在变压器铁芯周围一圈或少于一圈；次级绕组，其缠绕在变压器铁芯周围多次；输入端，其与初级绕组电耦合；以及输出端，其与次级绕组电耦合，次级绕组提供大于11200伏特的电压。在一些实施例中，所述高压变压器具有在初级侧上测量的小于30nH的杂散电感，且所述变压器具有在次级侧上测量的小于100pF的杂散电容。
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公开(公告)号：CN108471302A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810587074.8
申请日：2015-07-13
申请人： 鹰港科技有限公司
CPC分类号： H03K3/57 , H01F27/306 , H01F38/30
摘要： 本发明公开了一种纳秒脉冲发生器。在一些实施例中，所述纳秒脉冲发生器可包括一个或多个开关电路，所述一个或多个开关电路包括一个或多个固态开关、变压器和输出。在一些实施例中，所述变压器可包括第一变压器铁芯、至少部分地围绕所述第一变压器铁芯的一部分缠绕的第一初级绕组、以及至少部分地围绕所述第一变压器铁芯的一部分缠绕的次级绕组。在一些实施例中，一个或多个开关电路中的每一个与第一初级绕组的至少一部分耦接。在一些实施例中，所述输出可与所述次级绕组电耦接，并且输出具有大于约1千伏的峰值电压和小于150纳秒或50纳秒的上升时间的电脉冲。
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公开(公告)号：CN106537776B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201580037603.1
申请日：2015-07-13
申请人： 鹰港科技有限公司
CPC分类号： H03K3/57 , H01F27/306 , H01F38/30
摘要： 本发明公开了一种纳秒脉冲发生器。在一些实施例中，所述纳秒脉冲发生器可包括一个或多个开关电路，所述一个或多个开关电路包括一个或多个固态开关、变压器和输出。在一些实施例中，所述变压器可包括第一变压器铁芯、至少部分地围绕所述第一变压器铁芯的一部分缠绕的第一初级绕组、以及至少部分地围绕所述第一变压器铁芯的一部分缠绕的次级绕组。在一些实施例中，一个或多个开关电路中的每一个与第一初级绕组的至少一部分耦接。在一些实施例中，所述输出可与所述次级绕组电耦接，并且输出具有大于约1千伏的峰值电压和小于150纳秒或50纳秒的上升时间的电脉冲。
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公开(公告)号：CN106537776A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580037603.1
申请日：2015-07-13
申请人： 鹰港科技有限公司
CPC分类号： H03K3/57 , H01F27/306 , H01F38/30
摘要： 本发明公开了一种纳秒脉冲发生器。在一些实施例中，所述纳秒脉冲发生器可包括一个或多个开关电路，所述一个或多个开关电路包括一个或多个固态开关、变压器和输出。在一些实施例中，所述变压器可包括第一变压器铁芯、至少部分地围绕所述第一变压器铁芯的一部分缠绕的第一初级绕组、以及至少部分地围绕所述第一变压器铁芯的一部分缠绕的次级绕组。在一些实施例中，一个或多个开关电路中的每一个与第一初级绕组的至少一部分耦接。在一些实施例中，所述输出可与所述次级绕组电耦接，并且输出具有大于约1千伏的峰值电压和小于150纳秒或50纳秒的上升时间的电脉冲。
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