一种双端固支音叉石英加速度传感器

    公开(公告)号:CN114280329A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111609026.2

    申请日:2021-12-27

    IPC分类号: G01P15/097

    摘要: 一种双端固支音叉石英加速度传感器,包括固定基底和质量块,固定基底由实体部和四周延伸出一个闭合框架连接而成,实体部的两侧分别为固定基底第一表面、固定基底第二表面,固定基底和质量块之间通过铰链连接,铰链由上半铰链和下半铰链组成,上半铰链、下半铰链、质量块和固定基底实体部之间存在通孔,通孔中安装有成差动布置的结构相同的第一加速度检测器、第二加速度检测器;本发明具有微装配工艺简单、稳定性高以及灵敏度较高等优点。

    一种复合量程石英谐振加速度传感器

    公开(公告)号:CN112379126A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN202011205643.1

    申请日:2020-11-02

    IPC分类号: G01P15/097

    摘要: 一种复合量程石英谐振加速度传感器,由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计嵌套构成,大小量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一石英片贯穿腐蚀加工而成;大小量程加速度计均包括石英音叉、柔性杠杆、应力分配梁和敏感质量块,敏感质量块受到加速度作用产生的惯性力传递到柔性杠杆上,经过柔性杠杆放大作用传递到应力分配梁上,应力分配梁把惯性力先集中然后再均分到石英音叉的两根振梁上;根据被测量的大小启动大小量程加速度计,一端的石英音叉受到的力为拉应力,频率升高,另一端受到压应力,频率降低,两者的频率差与加速度的大小成正比,通过测量频率差获得加速度的大小;具有测量量程大、精度高、体积小等优势。

    一种提高数字闭环加速度计测量精度的方法与装置

    公开(公告)号:CN115712003A

    公开(公告)日:2023-02-24

    申请号:CN202211457077.2

    申请日:2022-11-16

    IPC分类号: G01P21/00

    摘要: 本发明实施例公开了一种提高数字闭环加速度计测量精度的方法与装置。该方法利用隐函数求解的方式,分析采样点数、比例系数及积分系数等环路参数对闭环系统测量精度的影响,再利用基于固定低位的方式确定目标转换器在不同位数下的量化误差对闭环系统测量精度的影响,进而结合环路参数对应的影响分析结果以及目标转换器对应的影响分析结果,来对环路参数和目标转换器的位数进行调整,以最大程度的保证加速度计表头的性能。通过本发明,解决了现有数字闭环加速度计的环路参数对闭环系统测量精度影响不明确,制约了整个加速度计系统高精度发展的技术问题,达到了提高数字闭环加速度计性能,满足数字闭环加速度计精度需求的技术效果。

    一种复合量程石英谐振加速度传感器

    公开(公告)号:CN112379126B

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202011205643.1

    申请日:2020-11-02

    IPC分类号: G01P15/097

    摘要: 一种复合量程石英谐振加速度传感器,由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计嵌套构成,大小量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一石英片贯穿腐蚀加工而成;大小量程加速度计均包括石英音叉、柔性杠杆、应力分配梁和敏感质量块,敏感质量块受到加速度作用产生的惯性力传递到柔性杠杆上,经过柔性杠杆放大作用传递到应力分配梁上,应力分配梁把惯性力先集中然后再均分到石英音叉的两根振梁上;根据被测量的大小启动大小量程加速度计,一端的石英音叉受到的力为拉应力,频率升高,另一端受到压应力,频率降低,两者的频率差与加速度的大小成正比,通过测量频率差获得加速度的大小;具有测量量程大、精度高、体积小等优势。

    一种加速度计采样电路的设计方法、装置及电子设备

    公开(公告)号:CN115859893A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211436875.7

    申请日:2022-11-16

    摘要: 本发明实施例公开了一种加速度计采样电路的设计方法、装置及电子设备。该方法的采样电路采用低温共烧陶瓷LTCC组件集成及分离子系统封装的设计,结合信号完整性分析、热分析进行优化处理,最终利用测试验证采样电路性能使其满足电路设计要求。通过本发明,解决了相关技术中使用多个分立的印制电路板实现采样电路功能,导致电路部分过于巨大与冗杂,严重制约加速度计系统的小型化发展的技术问题,达到了有效降低寄生电容及温度变化对电路器件的影响,增强采样电路的精度与稳定性,提升子系统的抗干扰能力,满足加速度计采样电路的小型化低功耗设计有重大需求的技术效果。