一种石英砂酸洗方法及装置

    公开(公告)号:CN112441590B

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202011354457.4

    申请日:2020-11-27

    IPC分类号: C01B33/18

    摘要: 本发明的技术方案是这样实现的:一种石英砂酸洗方法及装置,石英砂酸洗装置包括带有用于放置石英砂的腔体的酸洗床,所述酸洗床上端可拆卸连接有可密封腔体的密封盖;所述酸洗床一侧设置有从腔体下方向石英砂底部输送酸液的酸洗装置和用于向腔体内输送压缩空气的供气装置,所述供气装置用于从酸洗床上端或下端向腔体内供气;还包括用于向石英砂底部输送纯水的供水装置;本发明的有益效果是:酸液与石英砂充分混合,酸洗效果好,清洗水使用少,清洗时间短,成本降低。

    一种高纯石英砂加工制备方法及设备

    公开(公告)号:CN114887869A

    公开(公告)日:2022-08-12

    申请号:CN202210635989.8

    申请日:2022-06-07

    IPC分类号: B07B1/06 B07B1/46 B07B1/42

    摘要: 本发明公开了一种高纯石英砂加工制备方法及设备,属于石英砂制备领域。一种高纯石英砂加工制备设备,包括:筛选桶,具有不同高度分布的多个出料口;不同高度的出料口与不同的浸泡缸连通,每个浸泡缸内的酸洗液浓度不同;混料桶,位于筛选桶内;混料桶为上下两端均呈开放式的结构;混料桶与筛选桶滑动连接,滑动方向为竖直方向;筛选组件,位于筛选桶内;筛选组件与筛选桶滑动连接,滑动方向为竖直方向;筛选组件位于混料桶下侧,筛选组件的移动范围与混料桶的移动范围具有至少部分的重合,以驱动混料桶滑动;它可以实现对石英砂原料按照颗粒大小进行分类独立保存,以对石英砂原料进行不同浓度酸液的浸泡。

    一种石英砂下料装置及其下料方法

    公开(公告)号:CN114229513A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111646894.8

    申请日:2021-12-30

    摘要: 本发明石英玻璃制品加工领域,特别是一种石英砂下料装置及其下料方法,包括储料斗,其特征在于,还包括:第一星型卸料器,其输入端与所述储料斗的出料端连接;第一微量斗,其进料端与所述第一星型卸料器的输入端连接;第二微量斗,与所述第一微量斗并排设置,且其进料端与所述第一星型卸料器的输入端连接;第二星型卸料器,其输入端与所述第一微量斗的出料端连接;第三星型卸料器,其输入端与所述第二微量斗的出料端连接;控制单元,与所述第一星型卸料器、第二星型卸料器以及第三星型卸料器电性连接;其中,所述储料斗、第一微量斗以及第二微量斗内分别对应设置有与所述控制单元电性连接第一称重传感器、第二称重传感器以及第三称重传感器。

    一种高纯合成石英砂的制备方法

    公开(公告)号:CN110255570A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910587559.1

    申请日:2019-07-02

    IPC分类号: C01B33/18

    摘要: 本发明属于化工生产技术领域,具体涉及一种高纯合成石英砂的制备方法。由以下步骤组成:用纯水稀释原水玻璃材料,制成浓度水玻璃溶液,脱碱处理后得到硅酸水溶液,除去铁离子和碱土金属离子,得到高纯度的硅酸水溶液;加热使其全部凝胶化,得到含水硅胶;将含水硅胶在冷冻后随炉冷却,制得二氧化硅颗粒;将二氧化硅颗粒通过酸洗和清洗得到高纯二氧化硅粉末;通过熔化后得到闭合气孔的二氧化硅粉末。本发明采用水玻璃为原料,克服了现有技术中采用矿石作为原料时矿石中的杂质成分对成品质量带来影响的缺陷,利用焙烧方法解决了溶胶凝胶制备材料的多孔问题,得到高纯度气孔闭合的石英砂。

    一种晶圆干燥装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110197804A

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201910587544.5

    申请日:2019-07-02

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/687

    摘要: 本发明属于工业生产技术领域,具体涉及一种晶圆干燥装置。由FFU本体、排风系统、清洗花篮、排水底板和旋转平台组成,所述的排风系统由开设在FFU本体左右两侧面和底面上的排风口,以及设置在排风口上的风机组成;所述的排水底板设置在FFU本体底部,排水底板采用镂空设计;所述的清洗花篮底部卡设在旋转平台上。设备投资较小,能源消耗少,无有毒有害物质使用,安全无害,操作简便,可用于院校科研、企业研发,同时使用不受晶圆尺寸大小与产品厚度影响。

    一种晶圆干燥装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110197804B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN201910587544.5

    申请日:2019-07-02

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/687

    摘要: 本发明属于工业生产技术领域,具体涉及一种晶圆干燥装置。由FFU本体、排风系统、清洗花篮、排水底板和旋转平台组成,所述的排风系统由开设在FFU本体左右两侧面和底面上的排风口,以及设置在排风口上的风机组成;所述的排水底板设置在FFU本体底部,排水底板采用镂空设计;所述的清洗花篮底部卡设在旋转平台上。设备投资较小,能源消耗少,无有毒有害物质使用,安全无害,操作简便,可用于院校科研、企业研发,同时使用不受晶圆尺寸大小与产品厚度影响。