具有用于校正色相差诱发的成像误差的校正设备的方法和显微镜

    公开(公告)号:CN114424049A

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202080062711.5

    申请日:2020-07-01

    摘要: 为了校正具有镜头(14)和自适应光学器件(18)的光学系统的色相差诱发的成像误差,如此选择光(5)和样本(20),使得光(5)在对样本(20)起作用时减少来自样本(20)的测量信号(28),其中,测量信号(28)的相对改变取决于光(5)的强度。在第一和之后的第二时间段(38、37)上检测来自在样本(20)中的、光学系统的聚焦区域的测量信号(28),以便确定第一和第二测量值。在与第一和/或第二时间段重叠的第三时间段(39)上,借助光学系统将光(5)聚焦到聚焦区域中。由第一和第二测量值确定用于测量信号(28)的相对改变的度量值,并在自适应光学器件(18)的操控中将其用作待优化的指标。

    具有强化的近红外性质的透明导体材料及其形成方法

    公开(公告)号:CN112582483A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202011049903.0

    申请日:2020-09-29

    IPC分类号: H01L31/0224 H01L31/18

    摘要: 本申请涉及具有强化的近红外性质的透明导体材料及其形成方法。提供制造包含透明导电材料的制品的方法,其中,通过物理气相沉积在基材(例如,熔凝二氧化硅)上沉积透明导电材料(例如,氧化铟锡),然后在氮气气氛中,在高温(即,至少450℃)退火。所得到的制品包括的透明导电材料降低了低电阻率(或片电阻)与高近红外透射率之间的平衡。例如,由此获得的透明导电材料可具有1550nm处至少80%的透射率,同时具有小于或等于约5x10‑4欧姆‑cm的电阻率和至少约40x10‑4Ω‑1的哈克品质因子。还提供了通过在高温氮气气氛下对透明导电材料进行退火,来对透明导电材料的电阻率和/或近红外透射率进行调制的方法。