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公开(公告)号：CN115433520A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211041482.6
申请日：2022-08-29
申请人： 内蒙古广禾元纳米高科技有限公司 , 大连理工大学 , 内蒙古锦恒锐精密制造技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种石英玻璃绿色环保化学机械抛光液，所述抛光液成分包括：纳米粉体磨料、pH调节剂、分散剂、消泡剂、保湿剂、氧化剂以及去离子水。本发明抛光液应用于玻璃表面进行抛光，抛光效率高，分散能力强，持久消泡效果好，以及抛后表面可以达到亚纳米级别，可以满足商用要求。本发明抛光液既可以降低对环境以及操作人员的损害，又可以提高加工质量以及效率，降低耗材损耗，节约成本。
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公开(公告)号：CN115433520B
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202211041482.6
申请日：2022-08-29
申请人： 内蒙古广禾元纳米高科技有限公司 , 大连理工大学 , 内蒙古锦恒锐精密制造技术有限公司
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