公开(公告)号：CN1024526C

公开(公告)日：1994-05-18

申请号：CN90105033.4

申请日：1990-02-20

申请人： 中国科学院大连化学物理研究所 ,  化学工业部光明化工研究所

发明人： 程德鑫 ,  孔照荣 ,  唐学渊 ,  张儒杰 ,  张俊香 ,  蔡体杰 ,  李景芝 ,  张喜善 ,  高增 ,  吴华春 ,  钟秀贞 ,  储毅 ,  王武明 ,  赵敏 ,  韩同生 ,  李康善

IPC分类号： C01B21/04 ,  C01B23/00

摘要： 一种氮、氩、氦通用终端超净装置由RC反应柱，一对RAC反应去湿组合柱，OC反应柱和再生活化系统组成。该装置由于在再生活化气路中加有起匀压和控制成品气吹扫量的一阻尼管和控制阀，因此可以采用抽空和吹扫两种再生活化方式相结合。采用这种超净装置可将4N级原料气连续净化成6N级以上超净气体。此外，该装置的抽空机组不必连续抽空运行，吹扫用的成品气只占成品气的1%。

公开(公告)号：CN1054232A

公开(公告)日：1991-09-04

申请号：CN90105033.4

申请日：1990-02-20

申请人： 中国科学院大连化学物理研究所 ,  化学工业部光明化工研究所

发明人： 程德鑫 ,  孔照荣 ,  唐学渊 ,  张儒杰 ,  张俊香 ,  蔡体杰 ,  李景芝 ,  张喜善 ,  高增 ,  吴华春 ,  钟秀贞 ,  储毅 ,  王武明 ,  赵敏 ,  韩同生 ,  李康善

IPC分类号： C01B21/04 ,  C01B23/00

摘要： 一种氮(氩、氦)通用终端超净装置由RC反应柱，一对RAC反应去湿组合柱，GC反应柱和再生活化系统组成。该装置由于在再生活化气路中加有起匀压和控制成品气吹扫量的一阻尼管和控制阀，因此可以采用抽空和吹扫两种再生活化方式相结合。采用这种超净装置可将4N级原料气连续净化成6N级以上超净气体。此外，该装置的抽空机组不必连续抽空运行，吹扫用的成品气只占成品气的1％。