公开(公告)号：CN100540742C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200410103443.X

申请日：2004-12-27

申请人： 北京中天恒瑞科技股份有限公司

发明人： 周凤生 ,  张涛 ,  田云峰

IPC分类号： C23C28/00

摘要： 本发明涉及一种表面纳米组装膜的生产装置，其包括一真空室，该真空室内部设有工件放置平台，表面设有用于放置或取出工件的可封闭的门以及进气口和排气口，其特征在于所述真空室的外侧设有与其内部连通的金属蒸汽真空弧离子源、气体离子源和电子枪；所述真空室的外侧还设有一个一端与该真空室内部连通的磁过滤管道，该磁过滤管道的另一端连接有过滤阴极弧等离子体源；所述磁过滤管道的外侧绕设有与电源连接的电磁感应线圈。本发明利用技术组合，为众多应用领域中不断出现的新的应用问题提供了有效的技术解决手段，克服了过去制膜技术往往只能针对有限应用范围的缺陷，使生产效率大大提高。

公开(公告)号：CN1796603A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200410103443.X

申请日：2004-12-27

申请人： 北京中天恒瑞科技股份有限公司

发明人： 周凤生 ,  张涛 ,  田云峰

IPC分类号： C23C28/00

摘要： 本发明涉及一种表面纳米组装膜的生产装置，其包括一真空室，该真空室内部设有工件放置平台，表面设有用于放置或取出工件的可封闭的门以及进气口和排气口，其特征在于所述真空室的外侧设有与其内部连通的金属蒸汽真空弧离子源、气体离子源和电子枪；所述真空室的外侧还设有一个一端与该真空室内部连通的磁过滤管道，该磁过滤管道的另一端连接有过滤阴极弧等离子体源；所述磁过滤管道的外侧绕设有与电源连接的电磁感应线圈。本发明利用技术组合，为众多应用领域中不断出现的新的应用问题提供了有效的技术解决手段，克服了过去制膜技术往往只能针对有限应用范围的缺陷，使生产效率大大提高。