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公开(公告)号：CN117897793A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202280055600.0
申请日：2022-05-25
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
摘要： 提供一种用于多射束系统的多射束产生单元，其具有用于多个一次带电粒子小射束中的每一者的较大个别聚焦功率。该多射束产生单元包含主动端末多孔板。该端末多孔板可用于较大的聚焦范围，其用于多个一次带电粒子小射束中的每个小射束的个别消像散焦点调节。
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公开(公告)号：CN116195026A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202180065347.2
申请日：2021-08-04
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
发明人： S·舒伯特
IPC分类号： H01J37/26
摘要： 本发明关于一种具有镜像操作模式的多粒子束系统、一种用于操作具有镜像操作模式的多粒子束系统的方法以及一种相关的计算机程序产品。该多粒子束系统可在允许周密检测和重新校正该多粒子束系统的不同镜像操作模式下操作。一种构造成在第一检测模式下和/或在第二检测模式下操作的检测系统用于该分析。
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公开(公告)号：CN115053320A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202180012557.5
申请日：2021-02-01
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
摘要： 一种多光束带电粒子显微镜和一种操作多光束带电粒子显微镜以进行晶片检验的方法，其具有高产量、高分辨率和高可靠性。该操作方法和该多光束带电粒子束显微镜包含用于根据一选定扫描程序，通过多个带电粒子小射束进行同步扫描操作和图像获取的装置，其中可根据来自不同扫描程序的检验任务，选择该选定扫描程序。
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公开(公告)号：CN114600221A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080054443.2
申请日：2020-07-29
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/317
摘要： 公开了一种在不同操作点处操作多粒子束系统的方法。对于每个工作点，可以设定数值孔径，以使多粒子束系统的分辨率最佳。在此过程中，待扫描样品上相邻个体粒子束之间的束间距的边界条件保持恒定。出于改变数值孔径的目的，不会对系统做出机械变换。
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公开(公告)号：CN118575250A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202380018419.7
申请日：2023-01-18
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC分类号： H01J37/24 , H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 公开了一种降低漂移灵敏度并延长使用寿命的多束带电粒子成像系统的多束产生单元。通过结合屏蔽构件、冷却构件或改良结构中的至少一者及用于操作主动多孔元件的方法，将X射线辐射和热负荷所引起的漂移降到最低。通过形成例如电压供应单元的主动多孔元件或微电子装置的退火方法进一步提高使用寿命。
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公开(公告)号：CN113169017B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN201980064424.5
申请日：2019-09-30
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC分类号： H01J37/317
摘要： 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。
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公开(公告)号：CN116250057A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202180055228.9
申请日：2021-09-07
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
发明人： S·舒伯特
IPC分类号： H01J37/141
摘要： 本发明关于多粒子束系统，其包含磁浸没透镜并包含检测系统。在此处，在束开关和检测系统之间的二次路径中提供第二个别粒子束的交叉，并在交叉区域中配置用于切断二次束的具有中心切口的对比孔径。具有第一磁对比校正透镜的对比校正透镜系统配置于物镜和对比孔径之间，该对比校正透镜系统配置为产生具有可调整强度的磁场并校正在交叉中的二次束相对于多粒子束系统的光轴的束倾斜。因此，对于不同的个别图像，可获得更均匀的对比度，并整体上可提高对比度。
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公开(公告)号：CN115699245A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180039305.1
申请日：2021-04-29
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
摘要： 提供了一种多束带电粒子检查系统和一种操作多束带电粒子检查系统的方法，用于具有高通过量和高分辨率以及高可靠性的晶片检查。该方法和多束带电粒子束检查系统配置成从多个传感器数据中提取一组控制信号来控制多束带电粒子束检查系统，从而维持成像规范，包括在晶片检查任务期间晶片台的移动。特别地，该系统操作为使得时间间隔Tr与图像采集的时间间隔Ts1和/或Ts2重叠。
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公开(公告)号：CN113169013A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980063653.5
申请日：2019-09-30
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 一种用于操作多射束粒子束显微镜的方法，包括使多个粒子束在物体上扫描；将从这些粒子束在该物体处的撞击位置发出的电子束引导到电子转换器上；在第一时间段期间，通过第一检测系统的多个检测元件来检测由该电子转换器中的撞击电子所产生的第一信号；在第二时间段期间，通过第二检测系统的多个检测元件来检测由该电子转换器中的撞击电子所产生的第二信号；并且尤其是基于在该第二时间段期间通过该第二检测系统的检测元件检测到的检测信号，将在该第一时间段期间通过该第一检测系统的检测元件检测到的信号分配给这些撞击位置。
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公开(公告)号：CN118648082A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202380020221.2
申请日：2023-01-20
申请人： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC分类号： H01J37/22
摘要： 一种多束带电粒子显微镜(1)，包含：至少一个第一聚束式光栅扫描仪(110)，用于在多个J个图像子场(31.mn)上方聚束式扫描多个J个一次带电粒子小射束(3)；检测单元(200)，包含检测器，用于检测多个J个二次电子小射束(9)，每一个二次电子小射束对应于J个图像子场(31.mn)中的一个；以及控制器(800、820)，其包含：扫描控制单元(930)，其连接到该第一聚束式光栅扫描仪(110)，并配置为在使用期间控制使用该第一聚束式光栅扫描仪(110)的多个J个一次带电粒子小射束(3)的光栅扫描操作；内核产生单元(812)，其配置为在使用期间产生用于图像子场(31.mn)的空间变化失真校正的空间变化滤波器内核(910)；以及图像数据采集单元(810)，其操作与该检测器、该扫描控制单元(930)和该内核产生单元的操作同步，其中该图像数据采集单元(110)对于所述J个图像子场中每一者包含：模拟对数字转换器(811)，用于在使用期间将从该检测器接收的模拟数据串流转换成描述所述图像子场(31.mn)的数字数据串流；硬件滤波器单元(813)，其配置成接收该数字数据串流并在使用期间执行所述图像子场(31.mn)的片段(32)与该空间变化滤波器内核(910)的卷积，从而产生失真校正的数据串流；以及图像存储器(814)，其配置成将该失真校正的数据串流储存为所述图像子场(31.mn)的2D呈现。
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