公开(公告)号：CN100381877C

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200510106330.X

申请日：2005-09-22

Applicant: 名菱泰科尼卡株式会社 ,  三菱电机株式会社

Inventor： 藏田哲之 ,  佐竹彻也 ,  西冈孝博 ,  前原利昭 ,  金子诚 ,  冈部正树 ,  前田有纪

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够简单、正确地检测出检出对象的参数的检出对象的参数检出方法以及检出装置。在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω0的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向分别被设定为0°以及90°的方向的状态下，测定透射光强度。并且，计算出所测定的透射光强度的比r。此外，相对于不同的至少两个以上的ω与α的组合，测定在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向被设定为任意的角度α的状态下的透射光强度。并且，基于所测定的多个透过光强度和比r，检测出检出对象(12)的延迟和厚度。

公开(公告)号：CN1752799A

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN200510106330.X

申请日：2005-09-22

Applicant: 名菱泰科尼卡株式会社 ,  三菱电机株式会社

Inventor： 藏田哲之 ,  佐竹彻也 ,  西冈孝博 ,  前原利昭 ,  金子诚 ,  冈部正树 ,  前田有纪

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够简单、正确地检测出检出对象的参数的检出对象的参数检出方法以及检出装置。在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω0的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向分别被设定为0°以及90°的方向的状态下，测定透射光强度。并且，计算出所测定的透射光强度的比r。此外，相对于不同的至少两个以上的ω与α的组合，测定在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向被设定为任意的角度α的状态下的透射光强度。并且，基于所测定的多个透过光强度和比r，检测出检出对象(12)的延迟和厚度。