-
公开(公告)号：CN117451654B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202311220607.6
申请日：2023-09-21
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/3518 , G01N21/01
-
公开(公告)号：CN117800280A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311644645.4
申请日：2023-12-04
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种多台阶微流道结构的工艺制备方法，包括：步骤S1，制备氧化硅掩膜层；步骤S2，制备两处第一开窗；步骤S3，腐蚀两个第一开窗下方的氧化硅掩膜层，并于光刻胶层上制备第二开窗；步骤S4，腐蚀两个第一开窗和第二开窗下方的氧化硅掩膜层，并于光刻胶层上制备第三开窗；步骤S5，腐蚀第一、第二、第三开窗下方的氧化硅掩膜层并于单晶硅上刻蚀得到流道结构；步骤S6，腐蚀第二、第三开窗下方的氧化硅掩膜层并于单晶硅上刻蚀得到深槽阶梯结构；步骤S7，腐蚀第三开窗下方的氧化硅掩膜层并于单晶硅上刻蚀得到浅槽阶梯结构；步骤S8，去除氧化硅掩膜层并于单晶硅上表面键合衬底进行晶圆级封装。有益效果是本发明可实现多种深度槽结构的制备。
-
公开(公告)号：CN116040965A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310047120.6
申请日：2023-01-31
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC分类号： C03C17/36
摘要： 本发明公开了一种宽频减反膜，包括由上到下依次设置的H4层、Ag层和MgF2层，本发明还公开了宽频减反膜的制备方法和应用，与现有技术相比，本发明公开的宽频减反膜，是一种在透明玻璃上镀制混合物、金属银加氟化物叠加而成的一种减反薄膜，所述的宽频减反膜以K9玻璃为基底材质，该减反膜由两种不同折射率材料形成，采用H4和MgF2中间加镀一层金属Ag构成，从而达到带宽超宽的宽频减反膜。
-
公开(公告)号：CN116040575A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211396220.1
申请日：2022-11-09
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司
IPC分类号： B81C1/00 , G06Q10/0633 , G06Q50/04
摘要： 本发明提供了一种基于MEMS代工模式的制备方法，包括如下步骤：S1、获取客户需求的工艺信息；S2、将客户需求的工艺信息导入至工艺设计模块的数据库中，调整并导出每项工艺的工艺菜单和整个工艺流程；S3、将工艺流程导入至生产制备模块，调用每项工艺的工艺菜单，执行对应工艺制备产品，反馈生产情况，调整对应工艺的工艺参数；S4、将制备后的产品与客户需求的工艺信息进行比较判断是否合格，是则进入下一步，否则反馈不合格信息至步骤S3中；S5、入库。本发明将客户需求的工艺信息通过工艺设计模块的数据库进行初步调整，形成初步标准，再导入至生产制备中，调整各项工艺的工艺菜单后执行制备，使得整个制备模块化，易于实施。
-
公开(公告)号：CN116040965B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202310047120.6
申请日：2023-01-31
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC分类号： C03C17/36
摘要： 本发明公开了一种宽频减反膜，包括由上到下依次设置的H4层、Ag层和MgF2层，本发明还公开了宽频减反膜的制备方法和应用，与现有技术相比，本发明公开的宽频减反膜，是一种在透明玻璃上镀制混合物、金属银加氟化物叠加而成的一种减反薄膜，所述的宽频减反膜以K9玻璃为基底材质，该减反膜由两种不同折射率材料形成，采用H4和MgF2中间加镀一层金属Ag构成，从而达到带宽超宽的宽频减反膜。
-
公开(公告)号：CN116148960A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310047123.X
申请日：2023-01-31
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
摘要： 本发明公开了一种光学介质反射膜，包括设置在基底上的Ti3O5层以及设置在Ti3O5层上的反射层，本发明还公开了光学介质反射膜的制备方法和应用，与现有技术相比，本发明反射膜是在K9玻璃底层镀制一层失氧的Ti3O5，且膜层厚度控制在230‑300nm，目的是使得基底K9玻璃变黑，增加外层反射膜的反射，从而达到反射膜颜色更深更亮丽的效果；其二、该设计的膜系结构简单，选用的材料常见，工艺容易实现，光学性能稳定，可以实现工业化生产。
-
公开(公告)号：CN115793342A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211564142.1
申请日：2022-12-07
申请人： 西北工业大学宁波研究院 , 宁波启朴芯微系统技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种全固态多通道动态可调光谱滤波器件，包括从下到上依次设置的基底层、下层导电层、电致变色层、结构色层、固态电解质层、离子存储层和上层导电层，结构色层为周期性微纳结构或多层膜光谱滤波结构，与现有技术相比，本发明所提出的滤波器件的工作波段、中心波长和带宽可通过调整结构参数及外部驱动电压进行调控，便于在光谱成像系统中集成。
-
公开(公告)号：CN115793342B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202211564142.1
申请日：2022-12-07
申请人： 西北工业大学宁波研究院 , 宁波启朴芯微系统技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种全固态多通道动态可调光谱滤波器件，包括从下到上依次设置的基底层、下层导电层、电致变色层、结构色层、固态电解质层、离子存储层和上层导电层，结构色层为周期性微纳结构或多层膜光谱滤波结构，与现有技术相比，本发明所提出的滤波器件的工作波段、中心波长和带宽可通过调整结构参数及外部驱动电压进行调控，便于在光谱成像系统中集成。
-
公开(公告)号：CN117451654A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311220607.6
申请日：2023-09-21
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/3518 , G01N21/01
摘要： 本发明提供了一种检测煤矿气体的红外气体传感器及其使用方法，包括：安装组件和外壳；安装组件上设有光源和探测器；且光源与探测器均与微处理器电信号连接；探测器上开设有四个通道，四个通道内分别设置有测量水蒸气吸收光谱滤光片、测量甲烷吸收光谱滤光片、测量二氧化硫吸收光谱滤光片和参比吸收光谱滤光片；外壳的扣合于安装组件上，外壳的上端开设有安装孔，安装孔内设置滤网。本发明通过设置四个滤光片可以同时完成三种气体的检测，排除了水蒸气较强吸收性和气体吸收谱有交叠的问题，且有参考光路，更适合在煤矿等具有多种气体的环境中工作，使得测量的准确性更高；且将其放置于外壳中，体积更小，造价更便宜。
-
公开(公告)号：CN221201145U
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202323120585.4
申请日：2023-11-17
申请人： 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/306
摘要： 本实用新型提供一种用于湿法腐蚀的夹具，包括：基座板以及一对弹性密封环；基座板的上下表面均开设有用于放置硅片的容纳槽；两个弹性密封环分别可拆卸地密封固定在两个容纳槽槽口处，且两个弹性密封环的内径小于容纳槽槽口的直径，使得硅片的周缘与弹性密封环的内圈相抵形成限位。本实用新型可同时夹持两个硅片进行单面的湿法腐蚀，结构简单，提高生产效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
16 条记录 (耗时 0.04 秒)
