一种降低保护触发频率的溅射镀膜电源控制系统

    公开(公告)号:CN118763871A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410820945.1

    申请日:2024-06-24

    摘要: 本申请公开了一种降低保护触发频率的溅射镀膜电源控制系统,属于直流溅射镀膜领域,包括信号采集子系统、启动控制子系统、稳态控制子系统以及暂态控制子系统,信号采集系统提供计算功率所需的电压和电流信号,启动控制子系统根据负载的特性进行升压和降速输入的控制,当负载呈电晕放电特性时,通过电压积分控制模块输入控制实现快速升压,当负载特性进入辉光放电区域时,通过电流积分控制模块输入信号实现降速输入,并记录此时的电压作为恒功率输出的电压依据,计算出目标电流,稳态控制子系统,维持输出电压的稳定,确保系统处于稳定状态,在负载进入弧光放电时,通过暂态移相控制降低电流,减少保护动作,快速恢复系统正常工作状态。

    一种复合超薄铜箔集流体生产系统

    公开(公告)号:CN118522843A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410970802.9

    申请日:2024-07-19

    发明人: 刘佩杰

    IPC分类号: H01M4/04 H01M4/66

    摘要: 本申请公开了一种复合超薄铜箔集流体生产系统,属于复合超薄铜箔生产领域,包括电解生箔模块和薄膜复合模块;薄膜复合模块设于剥离组件前侧,在阴极辊铜箔剥离前进行覆膜作业,在生箔后将复合材料薄膜与未剥离的超薄铜箔复合在一起形成复合铜箔,然后再进行剥离收卷,可以实现铜箔生产和覆膜两个过程的连续进行,能够显著减少传统生产方式中铜箔剥离后再进行覆膜所需的额外操作步骤和时间,减少操作步骤和时间,企业可以节省大量的人力和物力成本,同时,由于减少了铜箔在转运和储存过程中的损耗,也可以进一步降低生产成本。此外,覆膜材料和铜箔之间紧密的结合有助于在剥离过程中保持铜箔的完整性和稳定性。

    一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统

    公开(公告)号:CN118028762B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410436944.7

    申请日:2024-04-12

    发明人: 刘佩杰

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/24

    摘要: 本申请公开了一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统,包括磁控阴极、蒸发源、阴极电源及气体供应装置,阳离子源等;所述磁控阴极安装于真空卷绕室与真空蒸镀室隔离部分,磁控阴极正下方安装蒸发源,磁控阴极接电源负极,真空蒸镀室接电源正极,所述磁控阴极下面有柔性基材悬浮通过,蒸发源蒸发镀层材形成的气态粒子向柔性基材表面运动并在柔性基材表面成膜,磁控阴极以形成吸附阳离子的阴极电场和约束阳离子运动的约束磁场,阳离子以高速度撞击到柔性基材表面时,利用阳离子轰击力对蒸发成膜层原子进行轰击,减少膜层中的孔隙和缺陷,轰击力使柔性基材表面镀层更致密,膜层与基材结合牢度更高,提高成膜的整体密实度和成膜质量。

    一种卷绕式磁控阴极主辊蒸发成膜系统

    公开(公告)号:CN118028761A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410436943.2

    申请日:2024-04-12

    发明人: 刘佩杰

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/24

    摘要: 本申请公开了一种卷绕式磁控阴极主辊蒸发成膜系统,属于蒸发连续镀膜领域,包括磁控阴极主辊、蒸发源、阴极电源,气体供应装置;蒸发源设于设置在磁控阴极主辊下侧,真空蒸镀室接电源正极,磁控阴极主辊接电源负极,设置气体供应装置供应可离化气体;磁控阴极主辊形成吸附阳离子的阴极电场和约束阳离子运动的约束磁场,阳离子以高速度撞击到柔性基材表面时,蒸发的镀层原子进行轰击,可以有效地压缩和密实镀膜层,减少膜层中的孔隙和缺陷,使镀层与基材结合牢度更高,提高镀膜的整体密实度和成膜质量,轰击力同时使基材薄膜与主辊之间的贴合接触更加紧密,减少因基材薄膜与主辊之间的接触不良而导致的热传导问题,特别适用于超薄基材的连续镀膜应用。

    一种双面卷绕镀膜机
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114015998A

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111504644.0

    申请日:2021-12-10

    发明人: 刘佩杰

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/26 C23C14/30

    摘要: 本发明涉及镀膜设备技术领域,具体地说,涉及一种双面卷绕镀膜机。包括真空室、抽真空系统,以及位于真空室内的镀膜鼓、卷绕系统、蒸发系统和导辊系统;所述真空室的内腔由隔离板分隔为四个腔室;所述卷绕系统包括分别位于真空室两个相对顶角腔室内的第一卷绕机构、第二卷绕机构;所述蒸发系统设有两组,分别位于真空室另外两个相对顶角腔室内;所述镀膜鼓设置有两个,包括第一镀膜鼓、第二镀膜鼓,两个镀膜鼓分别位于两组蒸发系统的上方。本发明通过采用两个可逆卷绕系统和两组镀膜鼓、蒸发系统,来实现薄膜基材的双面卷绕和双面镀膜,从而能够满足市场上对于镀制特殊、双面、超厚膜的需求,具有良好的市场前景。

    一种卷绕式磁控阴极主辊蒸发成膜系统

    公开(公告)号:CN118028761B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410436943.2

    申请日:2024-04-12

    发明人: 刘佩杰

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/24

    摘要: 本申请公开了一种卷绕式磁控阴极主辊蒸发成膜系统,属于蒸发连续镀膜领域,包括磁控阴极主辊、蒸发源、阴极电源,气体供应装置;蒸发源设于设置在磁控阴极主辊下侧,真空蒸镀室接电源正极,磁控阴极主辊接电源负极,设置气体供应装置供应可离化气体;磁控阴极主辊形成吸附阳离子的阴极电场和约束阳离子运动的约束磁场,阳离子以高速度撞击到柔性基材表面时,蒸发的镀层原子进行轰击,可以有效地压缩和密实镀膜层,减少膜层中的孔隙和缺陷,使镀层与基材结合牢度更高,提高镀膜的整体密实度和成膜质量,轰击力同时使基材薄膜与主辊之间的贴合接触更加紧密,减少因基材薄膜与主辊之间的接触不良而导致的热传导问题,特别适用于超薄基材的连续镀膜应用。

    一种复合铜箔生产装置及工艺
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118600492A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410974031.0

    申请日:2024-07-19

    发明人: 刘佩杰

    摘要: 本申请公开了一种复合铜箔生产装置及工艺,属于复合铜箔生产领域,包括辊式连续生箔模块、复合铜箔生成模块;复合铜箔生成模块用于将微孔薄膜送入电解槽内,使其与阴极辊表面生成的铜箔相贴合并随阴极辊运动,铜离子进入到微孔薄膜的膜孔连接阴极辊表面的底层铜箔,并逐渐在微孔薄膜表面形成表层铜箔,底层铜箔和底层铜箔形成一体结构的复合铜箔,复合铜箔在电解槽一次生成,减少了多步骤、多环节的加工过程,这种牢固的结合有助于提高复合铜箔的物理性能和化学稳定性,可以生产极薄复合铜箔,用于集流体显著提高新能源电池能量密度,在新能源领域可显著提高电池功率密度,本申请的复合铜箔生产装置可以生产碳纤维高强度铜箔,满足特种应用。

    一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统

    公开(公告)号:CN118028762A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410436944.7

    申请日:2024-04-12

    发明人: 刘佩杰

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/24

    摘要: 本申请公开了一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统,包括磁控阴极、蒸发源、阴极电源及气体供应装置,阳离子源等;所述磁控阴极安装于真空卷绕室与真空蒸镀室隔离部分,磁控阴极正下方安装蒸发源,磁控阴极接电源负极,真空蒸镀室接电源正极,所述磁控阴极下面有柔性基材悬浮通过,蒸发源蒸发镀层材形成的气态粒子向柔性基材表面运动并在柔性基材表面成膜,磁控阴极以形成吸附阳离子的阴极电场和约束阳离子运动的约束磁场,阳离子以高速度撞击到柔性基材表面时,利用阳离子轰击力对蒸发成膜层原子进行轰击,减少膜层中的孔隙和缺陷,轰击力使柔性基材表面镀层更致密,膜层与基材结合牢度更高,提高成膜的整体密实度和成膜质量。

    一种悬浮式图案真空镀膜机及镀膜方法

    公开(公告)号:CN115418613A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211201561.9

    申请日:2022-09-29

    IPC分类号: C23C14/24 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种悬浮式图案真空镀膜机及镀膜方法,真空镀膜机包括小车、真空抽气系统、水汽系统、电器控制系统以及真空在线测量系统,真空镀膜机还包括真空室以及位于真空室内的放卷轴、图案镀油印系统、蒸发源、主辊、收卷轴、位于放卷轴和主辊之间的第一导辊系统以及位于主辊和收卷轴之间的第二导辊系统;第一导辊系统包括位于图案镀油印系统侧部的放展平辊、位于放展平辊和放卷轴之间的数个第一导辊、位于主辊侧部的中展平辊以及位于放展平辊和中展平辊之间的第二导辊,蒸发源位于第二导辊和中展平辊之间,位于第二导辊和中展平辊之间的薄膜相对于蒸发源悬浮设置,提高薄膜上形成的图案的质量。

    一种分区加热式扩散泵
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114427550A

    公开(公告)日:2022-05-03

    申请号:CN202210211928.9

    申请日:2022-03-04

    发明人: 刘佩杰 王用兵

    摘要: 本发明涉及镀膜设备技术领域,具体地说,涉及一种分区加热式扩散泵,其喷射塔内从外向内依次设置有第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区;所述喷射塔的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置,每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器。通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力,改变供气量,从而改变泵的特性;所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态,以适于不同使用条件,同时,可通过PLC控制或微处理器处理,根据功能调整至最佳状态,达到节能效果。