加衬垫的晶片容器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1131164C

    公开(公告)日:2003-12-17

    申请号:CN99809950.3

    申请日:1999-07-09

    IPC分类号: B65D85/90

    摘要: 一种晶片容器装置包括容器(90)和门(20),并且具有两个不同的彼此轴向偏移的支撑水平面。第一支撑水平面是由在每个晶片的左侧和右侧处与底部表面接触的晶片搁板(106)提供的。第二支撑水平面是由在前部边缘和后部边缘处固定晶片的而没有在左侧边缘和右侧边缘的支撑的衬垫(40,120)形成的。位于门上和位于容器后部的衬垫最好是可以通过折叠或压缩而拆除的。衬垫最好具有V形的接合元件(46),以约束晶片边缘,并提供斜面(55,133),以便在门于容器的前开口处放置到位时将晶片的前部边缘和后部边缘从第一支撑水平面引导并提升到第二支撑水平面。

    具有低公差积累的晶片载体

    公开(公告)号:CN1328521A

    公开(公告)日:2001-12-26

    申请号:CN99810223.7

    申请日:1999-07-09

    IPC分类号: B65D85/00

    CPC分类号: H01L21/67379

    摘要: 用于支撑半导体晶片盘和连接处理设备的低公差积累晶片载体及组装该载体的方法。压入紧固件用于组装组合载体并将设备交接部分连接到载体上。每个压入紧固件包括压在一起时彼此配合的第一紧固件部分和第二紧固件部分。由此连接第一和第二件而无显著公差积累。提供一种具有定位的交接部分以通过引导板或者动力耦合从处理设备接受载体接触部分的晶片载体。交接接触部分将载体校准并防止引导板的弯曲引起的公差积累。

    具有可伸缩阀元件的塑料阀的制造方法

    公开(公告)号:CN1107181C

    公开(公告)日:2003-04-30

    申请号:CN99810105.2

    申请日:1999-07-09

    IPC分类号: F16K7/04

    CPC分类号: F16K7/063 Y10T137/0491

    摘要: 一种阀(20)具有一个可伸缩的阀元件(28),该阀元件由一个内层和一个外层构成,所述内层由PFA形成,所述外层由PTFE形成,且外层具有一个凸起(54、56)以为阀元件提供主动压缩和扩张。将伸缩部分焊接到一个PFA管状端部上,这样就产生了PTFE层具有一个凸起且以PFA材料形成其表面的优点。该阀利用了一个阀机构(30),阀机构具有一个支架(38),支架可径向地朝着和远离可伸缩的阀元件运动,该阀具有连接件(42、44),连接件从支架臂处延伸,与可收缩的阀元件的相对两侧相连。因此阀元件就可主动关闭和开启。在外部的PTFE层和内部的PFA层之间的密封可在外层主动扩张时引起内层向外扩张,使阀在负压下对流体进行控制。本发明包括用来制造具有多层阀元件的方法。

    加衬垫的晶片容器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1313825A

    公开(公告)日:2001-09-19

    申请号:CN99809950.3

    申请日:1999-07-09

    IPC分类号: B65D85/90

    摘要: 一种晶片容器装置包括容器(90)和门(20),并且具有两个不同的彼此轴向偏移的支撑水平面。第一支撑水平面是由在每个晶片的左侧和右侧处与底部表面接触的晶片搁板(106)提供的。第二支撑水平面是由在前部边缘和后部边缘处固定晶片的而没有在左侧边缘和右侧边缘的支撑的衬垫(40,120)形成的。位于门上和位于容器后部的衬垫最好是可以通过折叠或压缩而拆除的。衬垫最好具有V形的接合元件(46),以约束晶片边缘,并提供斜面(55,133),以便在门于容器的前开口处放置到位时将晶片的前部边缘和后部边缘从第一支撑水平面引导并提升到第二支撑水平面。

    具有低公差积累的晶片载体及其组装方法

    公开(公告)号:CN1126702C

    公开(公告)日:2003-11-05

    申请号:CN99810223.7

    申请日:1999-07-09

    IPC分类号: B65D85/00

    CPC分类号: H01L21/67379

    摘要: 用于支撑半导体晶片盘和连接处理设备的低公差积累晶片载体及组装该载体的方法。压入紧固件用于组装组合载体并将设备交接部分连接到载体上。每个压入紧固件包括压在一起时彼此配合的第一紧固件部分和第二紧固件部分。由此连接第一和第二件而无显著公差积累。提供一种具有定位的交接部分以通过引导板或者动力耦合从处理设备接受载体接触部分的晶片载体。交接接触部分将载体校准并防止引导板的弯曲引起的公差积累。

    具有可伸缩元件的塑料阀

    公开(公告)号:CN1319167A

    公开(公告)日:2001-10-24

    申请号:CN99810105.2

    申请日:1999-07-09

    IPC分类号: F16K7/04

    CPC分类号: F16K7/063 Y10T137/0491

    摘要: 一种阀(20)具有一个可伸缩的阀元件(28),该阀元件由一个内层和一个外层构成,所述内层由PFA形成,所述外层由PTFE形成,且外层具有一个凸起(54、56)以为阀元件提供主动压缩和扩张。将伸缩部分焊接到一个PFA管状端部上,这样就产生了PTFE层具有一个凸起且以PFA材料形成其表面的优点。该阀利用了一个阀机构(30),阀机构具有一个支架(38),支架可径向地朝着和远离可伸缩的阀元件运动,该阀具有连接件(42、44),连接件从支架臂处延伸,与可收缩的阀元件的相对两侧相连。因此阀元件就可主动关闭和开启。在外部的PTFE层和内部的PFA层之间的密封可在外层主动扩张时引起内层向外扩张,使阀在负压下对流体进行控制。本发明还包括用来制造具有多层阀元件的方法。