-
公开(公告)号：CN118605011A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410880314.9
申请日：2024-07-02
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
摘要： 本申请提供一种振镜装置及MEMS振镜集成产品，所述振镜装置包括：框架，包括固定结构及通过慢转轴梁与所述固定结构连接的可动框架；反射镜，通过快转轴梁与所述可动框架连接；传感组件，包括对应所述慢转轴梁设置的第一传感元件、和/或对应所述快转轴梁设置的第二传感元件；应力隔离结构，包括设于所述慢转轴梁外侧的应力隔离槽，用于隔离垂直于所述应力隔离槽延伸方向上的应力传递。
-
公开(公告)号：CN118295127A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410399728.X
申请日：2024-04-03
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
IPC分类号： G02B26/08 , H02K41/035
摘要： 本发明公开了一种电磁振镜，包括振镜芯片和驱动组件，振镜芯片包括固定结构、活动框架及可动反射镜；驱动组件包括磁体组、驱动线圈及导磁结构；磁体组包括两个间隔设置的第一磁性件，两个第一磁性件位于振镜芯片远离可动反射镜的镜面的一侧，两个第一磁性件相互靠近的一侧极性相反；导磁结构包括分别设于每个第一磁性件相对两侧的第一导磁件和第二导磁件，驱动线圈位于第一导磁件和第二导磁件之间，两个第一导磁件位于两个第一磁性件之间，两个第一导磁件于靠近驱动线圈的一端之间的第一距离大于远离驱动线圈的一端之间的第二距离。本发明的电磁振镜，可以减小整体体积，从而达到兼顾体积紧凑和电磁驱动力大的效果。
-
公开(公告)号：CN118226637A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410320249.4
申请日：2024-03-20
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
摘要： 本申请提供了一种MEMS压电微镜，属于微机电系统技术领域。所述压电微镜包括锚固框架、设于所述锚固框架上的驱动器及可动反射镜面；所述驱动器包括分别设于所述锚固框架相对两侧的压电件，所述压电件在电压作用下产生弯曲形变，根据弯曲形变量的相对大小，所述压电件包括弯曲形变量相对较小且满足第一预设要求的锚固部、以及弯曲形变量相对较大且满足第二预设要求的驱动部；所述锚固框架与所述压电件的所述锚固部连接；所述可动反射镜面与所述压电件的所述驱动部连接。所述MEMS压电微镜在相同电压驱动下可以获得更大的镜面扭转角度，压电驱动效率高。
-
公开(公告)号：CN113030909B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201911252558.8
申请日：2019-12-09
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
发明人： 马宏
IPC分类号： G01S7/481
摘要： 一种基于微镜阵列的激光雷达系统，包括：激光光源，用于发射激光光束；垂直扫描微镜，用于在第一驱动模式下，沿第一转轴偏转振动，以使得激光光束在垂直向的第一角度范围内扫描；水平扫描微镜阵列，用于在第二驱动模式下，沿第二转轴偏转振动，以使得激光光束在水平向的第二角度范围内扫描；反射镜，布置于所述垂直扫描微镜与所述水平扫描微镜阵列之间的光路；所述反射镜具有反射镜透光区，所述反射镜透光区恰好允许第一角度范围内的激光光束通过。
-
公开(公告)号：CN117631261A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311797969.1
申请日：2023-12-26
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
摘要： 本发明涉及微机电系统技术领域，具体涉及一种压电静电混合驱动的MEMS微镜；包括压电结构部和静电结构部，压电结构部与静电结构部堆叠；静电结构部包括可动结构、固定结构和第二金属结构层，压电结构部包括压电材料层、金属反射层、可动镜面、第一支承结构、扭转轴、第二支承结构、压阻传感结构、第一金属结构层和运动框架，通过混合了压电驱动和静电驱动两种驱动方式，以压电驱动为主，提供微镜工作所需的主要驱动力，为压阻反馈的集成提供基础，避免因高压导致压电材料击穿损伤，实现了采用压电驱动和静电驱动两种驱动方式，能够简单地调节器件谐振频率，提高微镜工作效率。
-
公开(公告)号：CN117369116A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311517831.1
申请日：2023-11-15
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明涉及光学扫描技术领域，具体涉及一种尺寸压缩的混合驱动微镜；包括锚固结构、第一扭转轴、第一驱动框架、第一支承结构、硅结构层、镜面、金属线圈结构、压电材料层和键合材料层，多组第一驱动框架对称分布于镜面的两侧，每组第一驱动框架的表面均集成有金属线圈结构，镜面与硅结构层连接，硅结构层上设置有压电材料层，镜面的底部设置有键合材料层，第一扭转轴分别与锚固结构和第一驱动框架连接，通过分别采用电磁驱动与压电驱动两种驱动方式驱动，将系统工作所需的总驱动力拆分到两个子驱动系统，各子驱动系统提供的驱动力小于该系统工作所需的总驱动力，为在至少一个方向压缩器件尺寸提供了条件。
-
公开(公告)号：CN113866863B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202111262629.X
申请日：2021-10-28
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
摘要： 本申请公开一种手性光学元件及其制备方法，该手性光学元件包括：基底与设置在基底上的至少一个手性超结构；单个手性超结构包括至少一层介质膜，各层介质膜重叠设置，本申请通过设置一定结构的手性光学元件，且对其手性超结构的参数进行改变，进而实现对其手性光学响应波段和强度的调控，同时通过对至少一层介质膜的层数、材质以及厚度的设置，形成对手性光学元件的光学响应波段具有抗反射和反射的介质膜，使得对处于不同波段的光都可以实现更强的圆二色光学活性，增强手性结构的使用范围。
-
公开(公告)号：CN113031253B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201911256483.0
申请日：2019-12-09
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
发明人： 马宏
摘要： 本发明提供一种晶圆级微镜、光学窗口以及其制造方法。所述微镜包括：微镜镜体，所述微镜镜体包含一层或多层单晶硅器件层；光学框架，所述光学框架的一个主面与所述器件层键合；所述光学框架还包含光学窗口，所述光学窗口为凸窗结构，且具有第一倾斜面，所述第一倾斜面与所述光学框架的主面具有一夹角。
-
公开(公告)号：CN113031128B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN201911256878.0
申请日：2019-12-09
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
发明人： 马宏
摘要： 本发明提供了一种晶圆级光学窗口，包括：基材层，基材层具有相对设置的第一面和第二面；光学元件层，光学元件层集成于所述第一面和/或所述第二面的特定区域内。相应地，本发明提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置。本发明还提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置，包括晶圆级光学窗口，还包括：基底；MEMS微镜，MEMS微镜设置于所述基底上；支撑架，支撑架设置于晶圆级光学窗口与MEMS微镜之间。本发明通过在晶圆级光学窗口的特定区域上集成光学元件层，利用该集成有光学元件层的晶圆级光学窗口与MEMS微镜形成微镜装置，并将该微镜装置应用于各类光学系统中，能够实现包括散斑抑制、光束准直、聚光和扫描角度增大等功能。
-
公开(公告)号：CN113031256B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201911256973.0
申请日：2019-12-09
申请人： 觉芯电子(无锡)有限公司
发明人： 马宏
摘要： 本发明提供一种集成透镜阵列的微镜，所述微镜包括基材层、反射层和透镜层，所述反射层设于所述基材层上方的特定区域内，所述透镜层位于所述反射层的上方，且所述透镜层为通过纳米压印或纳米打印或光刻胶热熔工艺制成；所述透镜层为微透镜阵列或菲涅尔透镜阵列。本发明透镜阵列层由纳米压印技术或纳米打印技术制造，其单元透镜的口径与精度高，散斑抑制效果好，同时，通过设计合理的微纳结构以及改进加工方式，降低光能损失，有利于进行激光显示。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
94 条记录 (耗时 0.041 秒)
