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公开(公告)号：CN107429990B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201680015436.5
申请日：2016-03-08
申请人： 韩国标准科学硏究院
摘要： 本发明涉及光元件旋转型偏振光椭圆率测量仪，更详细地，涉及如下的偏振光椭圆率测量仪：通过对借助试片反射或透射的光的偏振态的变化进行检测及分析，来在对试片的穆勒矩阵成分进行检测时使用。本发明的一实施例包括：光源，向试片发射入射光；固定偏光器，在所述入射光的移动路径上配置于所述光源与所述试片之间，使从所述光源发射的所述入射光偏光；以等速旋转的等速旋转偏光器，在所述入射光的移动路径上配置于所述固定偏光器与所述试片之间，通过所述固定偏光器的光入射并使所入射的所述光偏光；以等速旋转的等速旋转检偏器，通过所述等速旋转偏光器所偏光的光借助所述试片反射或透射，改变偏振态并入射，使所入射的所述光偏光；固定检偏器，通过所述等速旋转检偏器所偏光的光入射，使所入射的所述光偏光；以及光检测器，通过所述固定检偏器所偏光的光入射，对所入射的光的曝光量进行检测，输出与所述曝光量相应的光辐射通量值。
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公开(公告)号：CN107429990A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680015436.5
申请日：2016-03-08
申请人： 韩国标准科学硏究院
摘要： 本发明涉及光元件旋转型偏振光椭圆率测量仪，更详细地，涉及如下的偏振光椭圆率测量仪：通过对借助试片反射或透射的光的偏振态的变化进行检测及分析，来在对试片的穆勒矩阵成分进行检测时使用。本发明的一实施例包括：光源，向试片发射入射光；固定偏光器，在所述入射光的移动路径上配置于所述光源与所述试片之间，使从所述光源发射的所述入射光偏光；以等速旋转的等速旋转偏光器，在所述入射光的移动路径上配置于所述固定偏光器与所述试片之间，通过所述固定偏光器的光入射并使所入射的所述光偏光；以等速旋转的等速旋转检偏器，通过所述等速旋转偏光器所偏光的光借助所述试片反射或透射，改变偏振态并入射，使所入射的所述光偏光；固定检偏器，通过所述等速旋转检偏器所偏光的光入射，使所入射的所述光偏光；以及光检测器，通过所述固定检偏器所偏光的光入射，对所入射的光的曝光量进行检测，输出与所述曝光量相应的光辐射通量值。
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公开(公告)号：CN105676003A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201510891226.X
申请日：2015-12-07
申请人： 韩国标准科学硏究院
CPC分类号： G01R29/0892 , G01R29/0857 , G01R29/08 , G01K17/003 , G01K17/006
摘要： 提供一种电磁波功率感应装置及包括该电磁波功率感应装置的系统，包括波导件，电磁波功率入射至波导件；电磁波吸收件，该电磁波吸收件设置在波导件的末端，并且用于吸收入射至电磁波吸收件的前表面的电磁波功率；平行板件，平行板件设置在电磁波吸收件的后方，并且布置在波导件的中心线上方和下方；波导引导件，波导引导件用于固定波导件和电磁波吸收件，其中，平行板件位于波导引导件中；光电元件，该光电元件构造为感应电磁波功率；光电元件固定件，光电元件耦合至光电元件固定件；移动引导件，该移动引导件与光电元件固定件耦合，并且用于控制光电元件进入波导引导件中的移动，以感应电磁波功率。
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公开(公告)号：CN105676003B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201510891226.X
申请日：2015-12-07
申请人： 韩国标准科学硏究院
摘要： 提供一种电磁波功率感应装置及包括该电磁波功率感应装置的系统，包括波导件，电磁波功率入射至波导件；电磁波吸收件，该电磁波吸收件设置在波导件的末端，并且用于吸收入射至电磁波吸收件的前表面的电磁波功率；平行板件，平行板件设置在电磁波吸收件的后方，并且布置在波导件的中心线上方和下方；波导引导件，波导引导件用于固定波导件和电磁波吸收件，其中，平行板件位于波导引导件中；光电元件，该光电元件构造为感应电磁波功率；光电元件固定件，光电元件耦合至光电元件固定件；移动引导件，该移动引导件与光电元件固定件耦合，并且用于控制光电元件进入波导引导件中的移动，以感应电磁波功率。
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