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公开(公告)号:CN101306295B
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN200810009963.2
申请日:2003-12-22
申请人: 马西森三气公司
发明人: 渡辺忠治 , 罗伯特·小托里斯 , 约瑟夫·V·维尼斯基
CPC分类号: F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要: 一种流体提纯装置包括具有第一内侧容室和第二内侧容室的罐,其中,可渗透流体的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开,所述第一内侧容室可容纳提纯材料,所述第二内侧容室可容纳包含杂质的流体。
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公开(公告)号:CN101306294B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200810009962.8
申请日:2003-12-22
申请人: 马西森三气公司
发明人: 渡辺忠治 , 罗伯特·小托里斯 , 约瑟夫·V·维尼斯基
CPC分类号: F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要: 一种提纯流体的方法,包括:设置一个包括第一容室和第二容室的罐,其中,由可渗透流体的支承将第一容室和第二容室分隔开;在第一容室内设置提纯材料,并在第二容室内提供流体;使用于防止所述流体接触所述提纯材料的膜破裂;以及使流体流经可渗透流体的支承和提纯材料,以将杂质从流体去除。
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公开(公告)号:CN102099108A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN200980127654.8
申请日:2009-05-15
申请人: 马西森三气公司
CPC分类号: C01B33/046 , B01D53/02 , B01D53/38 , B01D2251/202 , B01D2251/2062 , B01D2253/106 , B01D2255/30 , B01D2258/0216 , B01J20/103 , B01J20/186 , B01J2220/42
摘要: 本发明涉及一种净化含氢材料的方法。该方法包括提供包含二氧化硅的净化剂材料的步骤。该二氧化硅可在约100℃或更高的温度下在干燥气氛下加热以形成活化的二氧化硅。该活化的二氧化硅可与起始含氢材料接触,其中活化的二氧化硅降低来自起始含氢材料的一种或多种杂质的浓度,以形成净化的含氢材料,其中活化的二氧化硅不分解净化的含氢材料。
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公开(公告)号:CN101506062A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200680050920.8
申请日:2006-11-28
申请人: 马西森三气公司
发明人: 罗伯特·托里斯 , 劳伦斯·M·瓦格 , 约瑟夫·V·维尼斯基
IPC分类号: B65D85/84
CPC分类号: C23C16/045 , F17C1/10 , F17C2201/0109 , F17C2201/0114 , F17C2201/0123 , F17C2201/032 , F17C2203/0604 , F17C2203/0607 , F17C2203/0619 , F17C2203/0636 , F17C2203/0639 , F17C2203/0646 , F17C2203/0648 , F17C2203/066 , F17C2205/0323 , F17C2205/0338 , F17C2205/0394 , F17C2209/2172 , F17C2209/221 , F17C2209/227 , F17C2209/232 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2223/035 , F17C2223/036 , F17C2250/043 , F17C2250/072 , F17C2260/011 , F17C2260/053 , F17C2270/01 , F17C2270/0518
摘要: 提供一种涂覆气体储存容器的内部的方法,其中所述方法包括将化学气相前体供应到所述储存容器中;以及在所述容器的内表面上形成金属涂层,其中所述涂层由所述化学气相前体形成。而且,提供一种气体储存容器,所述气体储存容器包含具有内表面的气体储存罐,所述气体储存罐具有形成在所述储存罐的所述内表面上的衬里。所述衬里可以包含纯度为约99重量%以上的钨金属。另外,提供一种用于制备金属衬里的气体储存容器的系统,所述系统可以包含化学气相前体发生器,以及用于将所述前体输送到气体储存罐的前体注入组件。所述系统还可以包含用于将气体沉积产物从所述气体储存罐中移除的废气出口。
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公开(公告)号:CN100376309C
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200380109982.8
申请日:2003-12-22
申请人: 马西森三气公司
发明人: 渡辺忠治 , 罗伯特·小托里斯 , 约瑟夫·V·维尼斯基
IPC分类号: B01D53/04
CPC分类号: F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要: 一种包括岐管和提纯单元的流体装置,所述岐管包括第一分支和第二分支,第一单向阀连接至岐管的第一分支;并且所述提纯单元包括第一和第二端部,其中第一端部连接至岐管的第二分支。还有,一种包括罐和可破坏密封的流体提纯装置,罐包括容纳提纯材料的第一内侧容室和容纳含有杂质的流体的第二内侧容室,其中由可渗透流体的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开。
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公开(公告)号:CN1753720A
公开(公告)日:2006-03-29
申请号:CN200380109982.8
申请日:2003-12-22
申请人: 马西森三气公司
发明人: 渡辺忠治 , 罗伯特·小托里斯 , 约瑟夫·V·维尼斯基
IPC分类号: B01D53/04
CPC分类号: F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要: 一种包括岐管和提纯单元的流体装置,所述岐管包括第一分支和第二分支,第一单向阀连接至岐管的第一分支;并且所述提纯单元包括第一和第二端部,其中第一端部连接至岐管的第二分支。还有,一种包括罐和可破坏密封的流体提纯装置,罐包括容纳提纯材料的第一内侧容室和容纳含有杂质的流体的第二内侧容室,其中由可渗透流体的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开。
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公开(公告)号:CN101306295A
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200810009963.2
申请日:2003-12-22
申请人: 马西森三气公司
发明人: 渡辺忠治 , 罗伯特·小托里斯 , 约瑟夫·V·维尼斯基
CPC分类号: F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要: 一种流体提纯装置包括具有第一内侧容室和第二内侧容室的罐,其中,可渗透流体的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开,所述第一内侧容室可容纳提纯材料,所述第二内侧容室可容纳包含杂质的流体。
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公开(公告)号:CN101306294A
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200810009962.8
申请日:2003-12-22
申请人: 马西森三气公司
发明人: 渡辺忠治 , 罗伯特·小托里斯 , 约瑟夫·V·维尼斯基
CPC分类号: F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要: 一种提纯流体的方法,包括:设置一个包括第一容室和第二容室的罐,其中,由可渗透流体的支承将第一容室和第二容室分隔开;在第一容室内设置提纯材料,并在第二容室内提供流体;使用于防止所述流体接触所述提纯材料的膜破裂;以及使流体流经可渗透流体的支承和提纯材料,以将杂质从流体去除。
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公开(公告)号:CN101151514A
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200680010529.5
申请日:2006-02-28
发明人: 詹姆斯·V·麦克马纳斯 , 斯图尔特·穆勒 , 瑞安·克莱门特
IPC分类号: G01M3/26
摘要: 本发明公开了一种用于对使用中在其流体接触区域(38)处需要流体密封的物件(20)进行泄漏测试,以确定通过该物件进入到该物件的非流体接触区域(40)的流体泄漏的系统(10)。该系统包括:泄漏测试流体,由该物件的流体接触区域密封容纳;真空组件(46、66),被设置成用于在该物件的非流体接触区域处建立真空环境;以及检漏仪(76),被设置成检测该真空环境中是否存在泄漏测试流体,以确定穿过该物件的流体泄漏。该系统使得可获得明显地低于1×10-6标准大气压cc/sec的泄漏敏感度,例如,在1×10-7到1×10-11标准大气压cc/sec范围内的敏感度,并且可用于对用来装载危险气体的容器(118)的质量保证测试。
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