公开(公告)号：CN119882351A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510006301.3

申请日：2025-01-03

Applicant: 万华化学集团股份有限公司

Inventor： 韩绍鹏 ,  王飞 ,  阳洁 ,  田汝博 ,  蒋志强 ,  杨述瑞

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明公开了一种高黏附正性KrF光刻胶树脂组合物。该组合物包括以下重量份的各组分：KrF光刻胶树脂，1000份，光致产酸剂，1‑20份，添加剂，6‑100份，有机溶剂，500‑800份，含氟酯类化合物，2‑50份。本发明在树脂结构中引入腈基结构，可以增加树脂与基材表面的作用力，增加黏附性，且腈基与硅烷偶联剂不同，不会与基材表面分子形成化学键。因此，在显影过程中可轻松去除，不会产生残留。此外，含氟酯类化合物通常具有较低的表面能，这有助于光刻胶在涂布过程中更容易展开并形成均匀的薄膜，从而减少缺陷。使用本发明的KrF光刻胶树脂制备的光刻胶具有优异的黏附性，曝光区内的光刻胶没有残留，减小了光刻图形缺陷，提升了产品良率。

公开(公告)号：CN119331150A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202411544568.X

申请日：2024-10-31

Applicant: 万华化学集团股份有限公司

Inventor： 王飞 ,  马吉全 ,  阳洁 ,  韩绍鹏 ,  田汝博

IPC: C08F212/08 ,  C08F212/14 ,  C08F2/00 ,  B01J19/00 ,  B01J19/24

Abstract: 本发明提供一种树脂材料的制备方法和制备系统，包括以下步骤：使所述含有单体的原料体系连续进入第一反应器中进行聚合反应，得到第一料液；所述第一料液从所述第一反应器中连续输出，并使部分所述第一料液返回所述第一反应器中，剩余部分所述第一料液连续进入第二反应器中进行老化处理，其中，进入所述第一反应器的所述含有单体的原料体系的进料量不小于进入所述第二反应器的剩余部分所述第一料液的进料量，得到所述树脂材料。本发明有助于制备得到分子量可控、分子量分布窄的树脂。