公开(公告)号：CN103849854A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310625110.2

申请日：2013-11-28

申请人： 三星康宁精密素材株式会社

发明人： 尹根尚 ,  金序炫 ,  李铉熙 ,  刘泳祚

IPC分类号： C23C16/40

CPC分类号： C23C14/0036 ,  C23C16/407 ,  C23C16/44

摘要： 一种制备氧化锌（ZnO）薄膜的方法，其中ZnO薄膜的表面形状可在ZnO薄膜的沉积过程中得到控制。该方法包括：通过化学气相沉积法（CVD）在基板上沉积ZnO薄膜。CVD在供应源气体和氧化剂气体的同时，供应蚀刻ZnO薄膜的蚀刻气体，从而控制正在沉积的氧化锌薄膜的表面形状。

公开(公告)号：CN103579524A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310322392.9

申请日：2013-07-29

申请人： 三星康宁精密素材株式会社

发明人： 金序炫 ,  尹根尚 ,  李铉熙 ,  刘泳祚

IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01L51/44 ,  H01L51/48

CPC分类号： H01L51/442 ,  H01L31/022466 ,  H01L51/0021 ,  H01L51/5215 ,  H01L2251/306 ,  H01L2251/308 ,  Y02E10/549 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24926

摘要： 具有高水平表面平整度的透明传导氧化物薄膜基板、该基板的制造方法、以及具有该基板的OLED和光电池。该透明传导氧化物薄膜基板包含基底基板、在该基底基板上形成的第一透明传导氧化物薄膜、以及在该第一透明传导氧化物薄膜上形成的第二透明传导氧化物薄膜，上述第一透明传导氧化物薄膜用第一掺杂剂处理。上述第二透明传导氧化物薄膜用比上述第一掺杂剂浓度高的第二掺杂剂处理。上述第二透明传导氧化物薄膜的表面比上述第一透明传导氧化物薄膜的表面更平。

公开(公告)号：CN103258865A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310055360.7

申请日：2013-02-21

申请人： 三星康宁精密素材株式会社

发明人： 朴洙昊 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴峻亨 ,  朴兑正 ,  白逸姬 ,  刘泳祚 ,  尹根尚 ,  李铉熙 ,  崔殷豪

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L31/02366 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/1884 ,  H01L51/0001 ,  H01L51/0096 ,  H01L51/442 ,  H01L51/447 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5268 ,  H01L2251/305 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521 ,  Y10T428/24364

摘要： 具有高雾度值的氧化物薄膜基板、它的制造方法及包括它的光伏电池和有机发光器件。所述氧化物薄膜基板包括在它的表面上具有第一纹理的基底基板和在所述基底基板上形成的透明氧化物薄膜。所述透明氧化物薄膜在它的表面上具有第二纹理。

公开(公告)号：CN103730600A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201310472578.2

申请日：2013-10-11

申请人： 三星康宁精密素材株式会社

发明人： 李柱永 ,  朴峻亨 ,  刘泳祚 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  白逸姬 ,  尹根尙 ,  李铉熙 ,  崔殷豪

IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/5262 ,  H01L51/5268 ,  H01L51/56

摘要： 用于有机发光装置(OLED)的金属氧化物薄膜基板及其制造方法，所述金属氧化物薄膜基板呈现较好的光提取效率，并可易于低成本制造。所述用于OLED的金属氧化物薄膜基板包括基底基板和形成在所述基底基板上的金属氧化物薄膜，所述金属氧化物薄膜由具有不同折射率的至少两种金属氧化物的混合物制成。

公开(公告)号：CN103668118A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310430091.8

申请日：2013-09-18

申请人： 三星康宁精密素材株式会社

发明人： 李柱永 ,  刘泳祚 ,  金序炫 ,  朴正佑 ,  朴峻亨 ,  白逸姬 ,  尹根尙 ,  李铉熙 ,  崔殷豪

IPC分类号： C23C16/455

CPC分类号： F16L41/02 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45578 ,  H01J37/3244 ,  Y10T137/85938

摘要： 一种能以均匀的速度喷射的气体喷射器和一种用于该气体喷射器的喷射器管。所述气体喷射器包括：主体；形成在所述主体内部的气体流动通路，该气体流动通路在所述主体的纵向方向上从一端延伸到另一端；叶片，该叶片被形成在所述主体内部，并被连接到所述气体流动通路以喷射气体；和被插入到所述气体流动通路中的喷射器管。所述喷射器管从气体供应部接收所述气体，并通过多个孔将所述气体分配到所述气体流动通路。所述喷射器管的所述多个孔包括沿在所述喷射器管的纵向方向上延伸的两条平行线形成的多个第一孔和多个第二孔，所述第一孔与所述第二孔交替。

公开(公告)号：CN103258866A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310055437.0

申请日：2013-02-21

申请人： 三星康宁精密素材株式会社

发明人： 金序炫 ,  尹根尚 ,  李铉熙 ,  刘泳祚

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC分类号： C23C16/407 ,  B32B3/263 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/24355

摘要： 一种导电膜基板、具有该基板的光伏电池及制造该基板的方法。该导电膜基板包括基底基板和在基底基板上形成的透明导电膜。该透明导电膜为具有同时形成于其表面上的第一纹理结构和第二纹理结构的氧化锌薄膜。第二纹理结构小于第一纹理结构。