公开(公告)号：CN103915576A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310361686.2

申请日：2013-08-19

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 崔贤珠 ,  李昌浩 ,  吴一洙 ,  高熙周 ,  申大烨 ,  崔柄河 ,  李昌敃 ,  李寅宰 ,  田坪恩 ,  赵世珍 ,  尹振瑛 ,  李宝罗 ,  金范俊 ,  李衍祐 ,  沈芝慧 ,  沈重元

IPC分类号： H01L51/56

CPC分类号： H01L51/5056 ,  H01L51/0012

摘要： 制造有机发光设备的方法包括：在基板上形成第一电极层、使用CF4等离子体对所述第一电极层进行表面处理、在经表面处理的第一电极层上形成含并五苯的第一公共层、在所述第一公共层上形成有机发光层、在所述有机发光层上形成第二公共层以及在所述第二公共层上形成第二电极层。所述CF4等离子体处理方法提高了所述有机发光设备的发光效率。