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发明公开
图像传感器审中-实审

公开(公告)号：CN116404016A

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202310007855.6

申请日：2023-01-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金局泰 , 金振均 , 卢琮铉 , 朴美善 , 李在雄

IPC: H01L27/146

Abstract: 一种图像传感器包括像素划分结构、感光元件、滤色器阵列层和微透镜。像素划分结构在垂直方向上延伸穿过基板，并限定单位像素区。感光元件在每个单位像素区中。包括滤色器的滤色器阵列层在基板上。微透镜在滤色器阵列层上。像素划分结构包括芯和在芯的侧壁上的侧面图案结构。芯包括第一填充图案和在由第一填充图案形成的空间中的第二填充图案，第一填充图案包括以第一浓度掺有杂质的多晶硅。第二填充图案的侧壁被第一填充图案覆盖，第二填充图案包括以不同于第一浓度的第二浓度掺有杂质的多晶硅。

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