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公开(公告)号:CN103512957A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201310049080.5
申请日:2013-02-07
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: G01N29/22
CPC分类号: H01L41/0475 , G01N29/022 , G01N29/32 , G01N2291/106 , H03H9/14544 , H03H9/42
摘要: 本发明提供了通过消除声表面波(SAW)传感器之间的串扰而具有改善的灵敏度的声表面波阵列传感器。该SAW阵列传感器包括:输入叉指换能器(IDT);第一和第二输出IDT,分别设置在输入IDT的两侧;第一延迟线,在输入IDT与第一输出IDT之间;以及第二延迟线,在输入IDT与第二输出IDT之间,其中第一延迟线和第二延迟线具有不同的长度。因此,由于产生在从输入IDT被一侧的输出IDT直接接收的信号与被与该侧输出IDT相对的输出IDT反射并被该侧输出IDT接收的信号之间的时间差异,所以可以最小化由反射波引起的串扰。