公开(公告)号：CN108109941A

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201711191153.9

申请日：2017-11-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴美贤 ,  吴政玟 ,  金仁基 ,  金舒玄 ,  金兑洪 ,  李晓山

IPC: H01L21/67 ,  C11D1/66

Abstract: 一种清洗组合物包括表面活性剂、去离子(DI)水和有机溶剂。表面活性剂具有从约0.03M到约0.003M的浓度。一种清洗装置包括接收基板的卡盘、用于将清洗组合物提供到基板上的喷嘴。该清洗装置还包括将清洗组合物供应到喷嘴的化学溶液供应单元。该化学溶液供应单元混合清洗组合物以产生清洗颗粒。清洗组合物包括表面活性剂、去离子(DI)水和有机溶剂。表面活性剂具有从约0.03M到约0.003M的浓度。一种制造半导体器件的方法包括处理基板、形成层间绝缘层、抛光层间绝缘层、以及将清洗组合物提供到层间绝缘层上以去除第一颗粒。

公开(公告)号：CN101105361A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200710103451.8

申请日：2007-05-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金权瞥 ,  金仁基 ,  朴大范 ,  柳省吉 ,  白承富 ,  金舒玄

IPC: F26B3/00 ,  F26B21/00

CPC classification number: H01L21/02057 ,  H01L21/67034

Abstract: 在干燥物体的方法中，第一干燥流体和第二干燥流体可以被第一次加热，以形成气体混合物。第二次加热该气体混合物，以防止该混合气体凝结。该第二次加热气体混合物可以被过滤，以除去第二次加热气体混合物中的杂质。然后，该过滤的混合气体被施加到物体，以干燥该物体。