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公开(公告)号:CN116329193A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202211663432.1
申请日:2022-12-23
申请人: 三星电子株式会社 , 汉阳大学校ERICA产学协力团
摘要: 实施方式涉及保护膜清洁装置和使用其的保护膜清洁方法。该保护膜清洁装置包括:支撑保护膜的平台;在平台之上的颗粒去除器,颗粒去除器被配置为从保护膜的第一表面去除颗粒,并且颗粒去除器包括悬臂和在悬臂的底表面上的粘合材料;以及与平台相邻的压力控制器,压力控制器被配置为控制保护膜的第二表面上的流体的压力。