Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN103882413A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201310675145.7
申请日：2013-12-11
Applicant: 三星电机株式会社
Inventor： 南孝昇 , 柳彰燮 , 崔然弘
IPC: C23C18/31
Abstract: 本公开提供了一种用于化学镀装置的篮夹具以及化学镀方法，该篮夹具包括：篮，装载有多个印刷电路板；旋转结构，被耦接至篮的两侧的上端部分；以及管子，被耦接至篮的下端部分并且包括被注入其中的流体。
公开(公告)号：CN102115905B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201010188554.0
申请日：2010-05-25
Inventor： 柳达铉 , 崔昌焕 , 李孝锡 , 崔然弘
IPC: C25D17/00 , C25D5/08
Abstract: 本发明了一种供给管和具有该供给管的混合储液池。该供给管具有结合至其内部的板形构件，并且板形构件产生湍流以使流动液体混合。根据本发明的一个实施例的供给管和具有该供给管的混合储液池可以提供均匀混合的液体同时供给液体。
公开(公告)号：CN102115906B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010188682.5
IPC: C25D17/02 , C25D7/12
Abstract: 本文公开了一种基板电镀装置和电镀基板的方法。根据本发明的实施例的装置可以包括：第一旋转单元，其包括面向基板并且相对于基板旋转的电极单元；第二旋转单元，其使第一旋转单元环绕与第一旋转单元的旋转轴平行并且位于第一旋转单元外部的轴公转；以及供应部，其向基板提供电镀溶液。
公开(公告)号：CN102115906A
公开(公告)日：2011-07-06
公开(公告)号：CN102115905A
