-
公开(公告)号：CN102092955A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010593413.7
申请日：2010-12-14
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C03C15/00
CPC classification number: H01L21/6776 , H01L21/6708 , H01L21/67086
Abstract: 本发明公开了一种蚀刻设备，该蚀刻设备包括：多个室，具有敞开的以使基底进入或排出基底的开口；喷射构件，安装在每个室的内部以喷射化学液体；阻截构件，邻近地安装在每个室的开口处并抽吸进入开口中的气体。
Search Results
1
records
(took 0.032 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
