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公开(公告)号：CN102401790A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110192126.X
申请日：2011-07-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/9505
Abstract: 本发明涉及多晶硅膜检测装置以及检测方法，本发明的实施例的多晶硅膜检测装置检测向前面照射激光而结晶化的多晶硅膜。并且包括：光源部，向所述多晶硅膜的背面发射检测光，所述背面与所述前面相反；验光部，对在所述多晶硅膜反射的检测光验光；以及控制部，控制所述光源部和所述验光部。
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