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公开(公告)号:CN102169959A
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN201110006544.5
申请日:2011-01-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社 , 首尔大学校产学协力团
CPC classification number: H01L51/0016 , H01L27/322 , H01L51/0003 , H01L51/0545 , H01L51/56
Abstract: 一种制造高分辨率有机薄膜图案的方法,该方法包括:在基板上形成第一有机层;通过选择性地向所述第一有机层照射光能来选择性地去除所述第一有机层,并将所述第一有机层的剩余部分形成为牺牲层;在所述基板以及所述牺牲层的整个表面上形成第二有机层;以及通过利用溶剂去除所述牺牲层来剥离形成在所述牺牲层上的第二有机层,并将剩余的第二有机层形成为第二有机层图案。
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公开(公告)号:CN105742495B
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201610115813.4
申请日:2011-01-05
Applicant: 三星显示有限公司 , 首尔大学校产学协力团
Abstract: 一种制造高分辨率有机薄膜图案的方法,该方法包括:在基板上形成第一有机层;通过选择性地向所述第一有机层照射光能来选择性地去除所述第一有机层,并将所述第一有机层的剩余部分形成为牺牲层;在所述基板以及所述牺牲层的整个表面上形成第二有机层;以及通过利用溶剂去除所述牺牲层来剥离形成在所述牺牲层上的第二有机层,并将剩余的第二有机层形成为第二有机层图案。
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公开(公告)号:CN105742495A
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201610115813.4
申请日:2011-01-05
Applicant: 三星显示有限公司 , 首尔大学校产学协力团
Abstract: 一种制造高分辨率有机薄膜图案的方法,该方法包括:在基板上形成第一有机层;通过选择性地向所述第一有机层照射光能来选择性地去除所述第一有机层,并将所述第一有机层的剩余部分形成为牺牲层;在所述基板以及所述牺牲层的整个表面上形成第二有机层;以及通过利用溶剂去除所述牺牲层来剥离形成在所述牺牲层上的第二有机层,并将剩余的第二有机层形成为第二有机层图案。
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