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发明公开
化合物、(共)聚合物、组合物、抗蚀图案形成方法、以及化合物和(共)聚合物的制造方法有权

公开(公告)号：CN115605517A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202180035126.0

申请日：2021-05-12

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社(JP)

Inventor： 大松祯 , 松本正裕 , 由利道裕 , 片冈健太郎 , 佐藤隆 , 越后雅敏

IPC: C08F20/26 , C07C69/653 , C08F8/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/20

Abstract: 一种含碘的(甲基)丙烯酸酯化合物，其用式(1)表示。式(1)中，R1表示氢原子、甲基或卤素，R2各自独立地表示氢原子、碳数1～20的直链状的有机基团、碳数3～20的支链状的有机基团、或碳数3～20的环状的有机基团，A表示碳数1～30的有机基团，A包含至少1个酰基，n1表示0或1，n2表示1～20的整数。

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