公开(公告)号：CN101547770A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200780035521.9

申请日：2007-09-21

Applicant: 三菱综合材料株式会社 ,  TOTO株式会社

Inventor： 山下哲二 ,  力田直树 ,  木村高志 ,  尾久雅治 ,  芦泽宏明 ,  鸠野广典 ,  常田昌广

IPC: B24B53/12 ,  B24B37/00 ,  B24D3/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24D3/08 ,  B24D18/00

Abstract: 本发明提供在磨粒周边部分具有优异耐腐蚀性的CMP修整器。对于在一面形成了磨粒固定于金属结合相中而成的磨粒层的磨石基体，在磨粒层的金属结合相表面利用溶胶凝胶法形成包含氧化物的第一保护层，接着向第一保护层的表面喷射在气体中分散脆性材料的微粒而成的气溶胶并使其碰撞来形成包含氧化物厚膜的第二保护层。

公开(公告)号：CN1286158A

公开(公告)日：2001-03-07

申请号：CN00130593.X

申请日：2000-09-01

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 高桥务 ,  下前直树 ,  山下哲二 ,  畑花子

IPC: B24D3/00

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24D3/06 ,  B24D7/06 ,  B24D18/0018

Abstract: 在本发明磨具的电镀沉积磨轮20中,将呈近似圆柱状隆起于金属底板19的中央区域的多个墩部21大致排列成格子状。在金属底板19上设置磨粒层,仅在各墩部21上用金属电镀沉积相25固定多个超磨粒14而分别形成小磨粒层部24。在小磨粒层部24中,在墩部21的倒角R部21a和顶部21b配设超磨粒。各小磨粒层部的超磨粒为11—500个,相对于平面视图上的磨粒层的全部面积超磨粒所占的比例设定在20%—80%的范围内。在磨削时仅超磨粒与被磨削件接触,维持高磨削压力,锋利度和磨削屑的排出性能好。

公开(公告)号：CN1132721C

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：CN00130593.X

申请日：2000-09-01

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 高桥务 ,  下前直树 ,  山下哲二 ,  畑花子

IPC: B24D3/06

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24D3/06 ,  B24D7/06 ,  B24D18/0018

Abstract: 在本发明磨具的电镀沉积磨轮(20)中，将呈近似圆柱状隆起于金属底板(19)的中央区域的多个墩部(21)大致排列成格子状。在金属底板(19)上设置磨粒层，仅在各墩部(21)上用金属电镀沉积相(25)固定多个超磨粒(14)而分别形成小磨粒层部(24。在小磨粒层部(24)中，在墩部(21)的倒角R部(21a)和顶部(21b)配设超磨粒。各小磨粒层部的超磨粒为11-500个，相对于平面视图上的磨粒层的全部面积超磨粒所占的比例设定在20%-80%的范围内。在磨削时仅超磨粒与被磨削件接触，维持高磨削压力，锋利度和磨削屑的排出性能好。