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发明公开
修正粒子衍射技术投影成像误差的方法及系统审中-实审

公开(公告)号：CN118376637A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410428759.3

申请日：2024-04-10

申请人： 上海交通大学

发明人： 张莉婷 , 钟鸿儒 , 施奇伟 , 陈哲 , 王浩伟

IPC分类号： G01N23/207 , G01N23/2055

摘要： 本发明提供了一种修正粒子衍射技术投影成像误差的方法及系统，包括：步骤S1：定义包含晶向角或图案中心坐标的投影参数P，以有投影成像误差的实验衍射花样为配准目标构建目标函数，修正投影参数P直至目标函数收敛，获得校正后的投影参数P和无投影误差的模拟图案；步骤S2：定义投影误差参数d，以无投影成像误差的模拟衍射花样为配准目标构建目标函数，修正投影误差参数d直至目标函数收敛，获得校正后的投影误差参数d；步骤S3：利用校正后的投影误差参数d表征每一个实验图案在(x,y)方向的投影畸变位移，通过投影畸变位移纠正实验衍射图案中的畸变。本发明在晶体材料微观结构表征领域具有广泛的应用前景。