公开(公告)号：CN118371101A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410804274.X

申请日：2024-06-21

申请人： 上海协微环境科技有限公司

发明人： 请求不公布姓名 ,  王福清 ,  陈佳明

IPC分类号： B01D53/26 ,  B01D53/90 ,  B01D53/86 ,  B01D53/56 ,  B01D53/46 ,  B01D53/68 ,  B01D53/78 ,  B01D45/04

摘要： 本发明公开了一种管道反应器、工艺废气处理系统及方法，属于泛半导体废气处理技术领域，用以解决现有技术中无法有效去除NOX、废气中水含量过高与粉尘结合粘黏在管道内壁造成管道堵塞中的至少一个问题。该管道反应器中，物理除液床用于降低废气湿度，NOX、部分水汽流入化学催化反应床；臭氧通入化学催化反应床中；化学催化反应床包括活性组分，在化学催化反应床中，在活性组分的作用下，水汽被催化分解成羟基自由基，臭氧被催化分解成氧自由基，羟基自由基和氧自由基将NOx氧化为NO2和/或N2O5。本发明可用于工艺废气处理。

公开(公告)号：CN118543218A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202410804275.4

申请日：2024-06-21

申请人： 上海协微环境科技有限公司

发明人： 请求不公布姓名 ,  王福清 ,  陈佳明

IPC分类号： B01D53/26

摘要： 本发明公开了一种除湿组件及工艺废气处理系统，属于工艺废气处理技术领域，用以解决现有技术中补气孔密封结构容易变形影响密封性、补气孔直接暴露在外影响工艺废气处理效果中的至少一个问题。该除湿组件包括补气孔、固定支撑筒、密封盘和驱动气缸；补气孔开设于处理腔室的侧壁，固定支撑筒的连接端与处理腔室的侧壁固定连接且设于补气孔外周，固定支撑筒的侧壁开设贯穿的通气孔，密封盘设于固定支撑筒中，驱动气缸的输出轴从固定支撑筒的支撑端插入固定支撑筒中且与密封盘固定连接，驱动气缸的缸体与固定支撑筒固定连接；驱动气缸驱动密封盘相对于固定支撑筒运动，使得通气孔与补气孔连接或断开。本发明可用于工艺废气处理。