公开(公告)号：CN104568247B

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201310470964.8

申请日：2013-10-10

申请人： 上海和辉光电有限公司

发明人： 刘冲 ,  彭思君 ,  杨飞

IPC分类号： G01L1/24

摘要： 本发明涉及一种薄膜应力量测方法及量测装置，属于测量技术领域。该薄膜应力量测方法及量测装置中，激光发射器投射至少两束激光投射到待量测的薄膜上，使得检测器在接受到经薄膜反射的反射光后，能根据多束反射光反射角之间的差值Δα修正薄膜应力，从而能够有效降低量测误差；同时，该量测装置还包括旋转镜组，能将超出量程的反射光投射到激光接收单元，以此扩大量测范围，进一步提高量测结果的精确度，且本发明的薄膜应力量测装置结构简单，成本低廉，量测方法应用方式简便，使用范围也较为广泛。

公开(公告)号：CN104568247A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201310470964.8

申请日：2013-10-10

申请人： 上海和辉光电有限公司

发明人： 刘冲 ,  彭思君 ,  杨飞

IPC分类号： G01L1/24

摘要： 本发明涉及一种薄膜应力量测方法及量测装置，属于测量技术领域。该薄膜应力量测方法及量测装置中，激光发射器投射至少两束激光投射到待量测的薄膜上，使得检测器在接受到经薄膜反射的反射光后，能根据多束反射光反射角之间的差值Δα修正薄膜应力，从而能够有效降低量测误差；同时，该量测装置还包括旋转镜组，能将超出量程的反射光投射到激光接收单元，以此扩大量测范围，进一步提高量测结果的精确度，且本发明的薄膜应力量测装置结构简单，成本低廉，量测方法应用方式简便，使用范围也较为广泛。