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公开(公告)号：CN117387496A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311626175.9
申请日：2023-11-30
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提出了一种基于音叉反馈微纳FBG探针的微位移传感装置及其检测方法，传感装置由三个模块组成：由微纳光纤布拉格光栅探针和金膜样品组成的微位移传感模块；由音叉反馈式原子力控制系统构成的反馈控制模块；由高速光纤解调仪和数据处理终端构成的数据采集模块。该传感装置的原理是FBG探针和通过金膜样品反射形成的镜像探针取代了传统间隙PS‑FBG结构中的两个均匀FBG探针，控制探针到金膜样品表面的间隙，以此来调整引入的相移，纤布拉格光栅探针在其反射谱中打开一个极窄的透射窗口，形成了相移光纤布拉格光栅探针，该窄带透射窗口的半高全宽相比于普通均匀FBG探针的半高全宽小了一个数量级。
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