一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置

    公开(公告)号:CN103132031A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201310036504.4

    申请日:2013-01-30

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/06 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置,属于陷光结构氮化硅薄膜技术领域。一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:清洗石英玻璃(1);将石英玻璃与氮化硅靶材(3)上、下对应地固定在镀膜设备内,所述镀膜设备具有充气口与抽真空口;对所述镀膜设备进行抽真空直至其压强优于2.1×10-4Pa;对所述镀膜设备充入Ar气作为溅射气体;所述氮化硅靶材(3)与石英玻璃(1)之间设置永磁铁(2),磁场方向竖直向上。石英玻璃(1)下表面形成陷光结构的氮化硅薄膜。

    一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置

    公开(公告)号:CN103132031B

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201310036504.4

    申请日:2013-01-30

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/06 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法及制备装置,属于陷光结构氮化硅薄膜技术领域。一种陷光结构氮化硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:清洗石英玻璃(1);将石英玻璃与氮化硅靶材(3)上、下对应地固定在镀膜设备内,所述镀膜设备具有充气口与抽真空口;对所述镀膜设备进行抽真空直至其压强优于2.1×10-4Pa;对所述镀膜设备充入Ar气作为溅射气体;所述氮化硅靶材(3)与石英玻璃(1)之间设置永磁铁(2),磁场方向竖直向上。石英玻璃(1)下表面形成陷光结构的氮化硅薄膜。

    磁控溅射屏蔽罩
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203320121U

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201320339797.9

    申请日:2013-06-14

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本实用新型公开了一种磁控溅射屏蔽罩,包括由透明材料制成的中空圆柱状的外罩以及空心环形托盘,所述外罩的底端的周面上均匀间隔设有三个开口,所述外罩的底端外周面上还固定设有三个基座,基座内开有通孔;所述空心环形托盘水平设于外罩内的上半部分,空心环形托盘通过若干根固定杆与外罩相连。由于采用透明材料可以方便整个溅射过程的观察及溅射之后的清洗,并且本实用新型的磁控溅射屏蔽罩与基体的距离非常的接近,减少了污染。而下端的开口设计有利于保证靶罩内的氩气气氛充足。