精烧工艺关键参数的在线实时监测与质量控制方法及系统

    公开(公告)号:CN117935980B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410072298.0

    申请日:2024-01-18

    IPC分类号: G16C20/70 G16C20/20 C03C1/02

    摘要: 本发明涉及石英加工技术领域,本发明公开了精烧工艺关键参数的在线实时监测与质量控制方法及系统,包括获取至少一个石英的二维图像以及第一三维点云,基于二维图像以及第一三维点云确定石英体积,获取石英精烧过程中的废气排出数据,本发明先通过二维图像和点云数据获取石英的体积,在石英进行精烧的过程中,通过废气排出数据确定石英内部主要的包裹体种类,根据包裹体种类不同采取不同的气体通入方式,再根据石英的体积确定气体通入量,使得石英的退火阶段时,能够控制石英的质量,后续还通过对水蒸气浓度进行检测,判断是否停止氧气通入,避免过度氧气通入导致石英质量的下降。

    一种用于笼舟环片自动抛边的装置

    公开(公告)号:CN117943958B

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410353663.5

    申请日:2024-03-27

    摘要: 本发明提供了一种用于笼舟环片自动抛边的装置,通过设置转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具;所述石墨模具包括环形底座和设置在环形底座上的至少三组夹持件;每组夹持件包括支撑件和限位件,所述支撑件的底部固定在所述环形底座的上端面,所述限位件转动连接在所述环形底座的外圈;所述限位件相对于所述环形底座转动,用于旋转至设定角度,对水平放置在支撑件上待抛边的笼舟环片进行限位,利用可转动的石墨模具对笼舟环片进行支撑,可以提高笼舟环片的抛边效率,而且降低了笼舟环片发生卷边的概率,使得抛边更加均匀,保证产品一致性,提高产品质量。

    石英弯板加工设备及其加工方法

    公开(公告)号:CN117923768B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410338255.2

    申请日:2024-03-25

    IPC分类号: C03B23/025

    摘要: 本发明涉及石英加工技术领域,提供了一种石英弯板加工设备及其加工方法,包括:操作台、第一承托座、第二承托座、压板、移动座、第一驱动组件、下焊枪组件、上焊枪组件、第二驱动组件以及支架;第一承托座、第二承托座安装于操作台之上,第一承托座、第二承托座可升降调节且可沿Y轴方向移动调节;移动座安装于操作台之上且可沿X轴方向移动调节,第一驱动组件与移动座驱动连接,下焊枪组件的下焊枪头安装于移动座上;支架设于操作台之上,上焊枪组件的上焊枪头安装于支架上且可沿X轴方向移动调节,第二驱动组件与上焊枪头驱动连接。本发明实现了自动化的石英弯折加工,省时省力,提高了石英弯板加工效率。

    一种石英圆片的自动火焰抛光方法

    公开(公告)号:CN117658434A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311674851.X

    申请日:2023-12-07

    IPC分类号: C03B29/00 C03B20/00

    摘要: 本发明提供了一种石英圆片的自动火焰抛光方法,通过将待抛光的石英圆片放置在夹具,所述夹具包括设有凹槽的滚轮,所述石英圆片的边缘放置于所述凹槽内;控制抛光枪对准所述石英圆片的表面;在滚轮运转带动所述石英圆片运转的同时,控制所述抛光枪喷射火焰并根据设定的移动轨迹对所述石英圆片进行自动抛光,相对于传统的人工抛光不仅效率高,而且抛光更加稳定,抛光后的石英圆片的外观更均匀,一致性更好,从而提升加工良率,而且利用滚轮带动石英圆片运转能够避免石英圆片抛光过程中反复装夹而导致的磕碰问题。

    石英管制造方法及焊枪
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117534303A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311598534.4

    申请日:2023-11-27

    IPC分类号: C03B25/00 C03B29/00 C03B20/00

    摘要: 本发明提供了一种石英管制造方法及焊枪,石英管制造方法包括如下步骤:采用带环形枪头的焊枪对石英管的应力集中部位喷火:所述环形枪头的内壁上设有多个沿环形枪头的周向间隔分布的出火口,环形枪头环绕在石英管的应力集中部位的外部,且石英管的应力集中部位位于环形枪头的中心处,环形枪头的出火口均向石英管的应力集中部位喷火,实现去除石英管的应力集中部位的应力。本石英管制造方法及焊枪,通过环形枪头的出火口向位于环形枪头中心处的石英管的应力集中部位喷火焰,实现去除石英管的应力集中部位处的应力,操作简单,能耗较低,有效降低了去应力作业的成本,并提高了作业效率及良品率。

    一种石英器件的处理方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115124225A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202210856049.1

    申请日:2022-07-12

    IPC分类号: C03B20/00 C03B23/00 C03C23/00

    摘要: 本发明公开了一种石英器件的处理方法。该石英器件的处理方法包括如下步骤:在石英器件的破损处温度达到1400~1800℃的条件下,在破损处吹入纯氧,反复操作至破损处粘合。本方法可以提高尺寸精度,使得破损处的尺寸精度达到0.1mm以下,远远高于现有技术的1cm以上;还可以避免长时间的加工时间,与传统方法相比,效率可以提高80%,降低成本。

    石英焊枪及焊接装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118343985A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410590134.7

    申请日:2024-05-13

    IPC分类号: C03B23/20 C03B20/00 C03B29/00

    摘要: 本发明提供了一种石英焊枪及焊接装置,其中,石英焊枪中的焊接枪头包括内管和外管,内管穿设于在外管内,内管内设有第一输气通道,内管和外管之间设有第二输气通道,石英主管与第一输气通道和第二输气通道均连通设置,进而使外管和内管远离石英主管的管口处形成双层出口的喷火口,喷火口处输出并燃烧气体,在燃烧气体在喷火口处燃烧时,喷火口喷出双层火焰,相比现有技术的焊枪,喷火口处喷出的火焰更大,且火焰覆盖范围更广,能够对外径为6mm及以上的非常规焊棒进行熔烧。

    一种石英槽棒自动抛光方法及装置

    公开(公告)号:CN118184121A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410314248.9

    申请日:2024-03-19

    IPC分类号: C03B29/00 C03B20/00

    摘要: 本发明提供了一种石英槽棒自动抛光方法及装置,通过将待抛光的石英槽棒的底面放置在若干个间隔设置的石墨模具上,所述石英槽棒的顶面上设置有若干个凹槽;控制抛光枪对准所述石英槽棒,并调节所述抛光枪的火焰中心和所述石英槽棒表面的距离;根据所有凹槽的排列顺序控制抛光枪的停留时间和移动速度自动对相邻凹槽进行间隔式的抛光。利用间隔设置的石墨模具,能够减少抛光过程时在石英槽棒表面产生的损伤,另外,通过控制抛光枪的停留时间和移动速度对相邻凹槽进行间隔式的自动抛光,便于控制温差,使得每个凹槽受热均匀,从而实现石英槽棒自动化抛光,并提高产品良率。

    石英弯板加工设备及其加工方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117923768A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202410338255.2

    申请日:2024-03-25

    IPC分类号: C03B23/025

    摘要: 本发明涉及石英加工技术领域,提供了一种石英弯板加工设备及其加工方法,包括:操作台、第一承托座、第二承托座、压板、移动座、第一驱动组件、下焊枪组件、上焊枪组件、第二驱动组件以及支架;第一承托座、第二承托座安装于操作台之上,第一承托座、第二承托座可升降调节且可沿Y轴方向移动调节;移动座安装于操作台之上且可沿X轴方向移动调节,第一驱动组件与移动座驱动连接,下焊枪组件的下焊枪头安装于移动座上;支架设于操作台之上,上焊枪组件的上焊枪头安装于支架上且可沿X轴方向移动调节,第二驱动组件与上焊枪头驱动连接。本发明实现了自动化的石英弯折加工,省时省力,提高了石英弯板加工效率。

    一种石英板的焊接方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117700125A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311847944.8

    申请日:2023-12-28

    IPC分类号: C03C27/00

    摘要: 本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种石英板的焊接方法,提供第一石英板和第二石英板;对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理;固定所述第一石英板和所述第二石英板,保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离;将焊接件放置于倒角处并用焊枪进行焊接,本发明提供了一种石英板的焊接方法,相比于传统方法下的两次倒角,本发明只倒角一次,简化步骤的同时,焊接作业可以由单人一边手持焊接件,一边使用焊枪焊接来完成,实现单人一次拉料完成作业,相较于传统方法下的三人共同焊接作业,本发明的焊接方法节省人力,提高了作业效率,单人使用焊枪也更安全。