公开(公告)号：CN103901734B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201210587444.0

申请日：2012-12-28

申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司

发明人： 郭琳 ,  吴立伟 ,  陈军 ,  江旭初 ,  张志钢

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70716 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/68764

摘要： 本发明涉及一种工件台线缆装置，包括工件台、硅片台、线缆设备、线缆连接台以及X向运动设备和Y向运动设备，所述硅片台与线缆连接台分别安装于所述工件台的上侧和下侧，所述线缆设备的两端分别连接至所述硅片台和线缆连接台，所述X向运动设备连接至所述线缆连接台并沿X向运动，所述Y向运动设备连接至所述线缆连接台并沿Y向运动。本发明利用沿X向运动的X向运动设备和沿Y向运动的Y向运动设备带动所述线缆连接台跟随所述硅片台在X、Y向同步运动，使得线缆设备跟随所述硅片台运动，以减少线缆设备对所述硅片台运动产生的扰动，并减少线缆设备在硅片台运动中的弯折次数，增加线缆设备的使用寿命，同时，本发明结构简单。

公开(公告)号：CN104570592B

公开(公告)日：2019-04-30

申请号：CN201310473556.8

申请日：2013-10-11

申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司

发明人： 江旭初 ,  王鑫鑫 ,  魏龙飞 ,  梁晓叶

IPC分类号： G03F1/68 ,  G03F7/20

摘要： 本发明提供一种大掩模版整形装置和方法，包括：大掩模版、承版台、若干组垂向提升机构和若干组测量装置；其中，所述大掩模版固定在所述承版台上；所述测量装置将测量的大掩模版的位置信号反馈于对应的所述垂向提升机构；所述垂向提升机构依据反馈信号调节所述大掩模版的垂向位置。本发明通过垂向提升机构和测量装置对大掩模版进行整形，实现大掩模版垂向变形量的实时闭环控制，有效保证了大掩模版的整形效果，解决了因大掩模版自重变形所导致的成像质量问题，且本发明结构简单，操作便捷。