公开(公告)号：CN119328706A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202411712561.4

申请日：2024-11-27

Applicant: 上海新傲科技股份有限公司

Inventor： 汪海亮 ,  张俊 ,  施荣荣 ,  刘路

IPC: B25B27/14 ,  B25B15/00

Abstract: 本发明涉及螺丝紧固技术领域，尤其涉及一种用于固定螺丝的结构及安装螺丝的方法。所述用于固定螺丝的结构包括：第一弹性套筒，所述第一弹性套筒的内径小于待安装的螺丝的螺丝头的直径；第二弹性套筒，所述第二弹性套筒能够固定用于旋紧所述待安装的螺丝的旋紧工具；刚性连接套筒，所述刚性连接套筒的一端与所述第一弹性套筒固定连接、另一端与所述第二弹性套筒固定连接，所述刚性连接套筒与所述第一弹性套筒和所述第二弹性套筒均连通。本发明避免了单独的螺丝在安装过程中容易发生掉落的问题，而且提高了螺丝安装的效率，有助于提高半导体生产的效率和产率。

公开(公告)号：CN119252764A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202411331647.2

申请日：2024-09-24

Applicant: 上海新傲科技股份有限公司

Inventor： 赵路 ,  张俊 ,  李炜 ,  施荣荣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种碳化硅晶圆及其制备方法。所述碳化硅晶圆的制备方法包括如下步骤：提供碳化硅基底，碳化硅基底包括沿第一方向相对分布的第一表面和第二表面；注入掺杂离子至碳化硅基底，于碳化硅基底内形成一剥离层；激活处理碳化硅基底的第一表面，以于碳化硅基底的第一表面形成亲水性键合基团；以第一表面朝向支撑基底的方向键合碳化硅基底至支撑基底表面；于剥离层的位置分割碳化硅基底，以一支撑基底及其表面剩余的碳化硅基底共同作为一碳化硅晶圆。本发明提高了碳化硅晶圆的质量和制备效率，降低了制备成本，增强了碳化硅基底与支撑基底之间的键合强度，提高了最终形成的碳化硅晶圆的结构稳定性。

公开(公告)号：CN119050000A

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN202410980510.3

申请日：2024-07-22

Applicant: 上海新傲科技股份有限公司

Inventor： 赵路 ,  张俊 ,  李炜 ,  施荣荣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种碳化硅晶圆及其制备方法。所述碳化硅晶圆的制备方法包括如下步骤：提供碳化硅基底；注入掺杂离子至所述碳化硅基底，于所述碳化硅基底内形成一剥离层；键合所述碳化硅基底至一支撑基底表面；于所述剥离层的位置分割所述碳化硅基底，以一所述支撑基底及其表面剩余的所述碳化硅基底共同作为一碳化硅晶圆。本发明节省了碳化硅晶圆的制备时间和人力成本，提高了碳化硅晶圆的制备效率，并降低了碳化硅晶圆的制备成本。

公开(公告)号：CN107039225B

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201710276773.6

申请日：2017-04-25

Applicant: 上海新傲科技股份有限公司

Inventor： 张俊 ,  朱广金

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/302 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。

公开(公告)号：CN107039225A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710276773.6

申请日：2017-04-25

Applicant: 上海新傲科技股份有限公司

Inventor： 张俊 ,  朱广金

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/302 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。