公开(公告)号：CN106944916A

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201611123561.6

申请日：2016-12-08

Applicant: 不二越机械工业株式会社 ,  国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 塚田雅之 ,  澁谷和孝 ,  布施贵之 ,  中村由夫 ,  原史朗

IPC: B24B37/34 ,  B24B57/02 ,  B65D30/24 ,  B65D33/14

CPC classification number: B24B37/34 ,  B24B37/20 ,  B24B57/02 ,  B65D31/14 ,  B65D33/14

Abstract: 本发明提供工件加工装置以及用于该工件加工装置的药液收纳袋，能够防止药液的干燥、凝聚、沉淀等，也能够实现小型化。一种工件加工装置(5)，其具有将药液供给至处理部(6)的药液供给部(7)和进行工件的加工或者处理的所述处理部(6)，其特征在于，药液供给部(7)具有：多个药液收纳袋(50)，其填充有药液；袋保持部(52)，其安装并保持有多个药液收纳袋(50)；以及送液部，其装卸自如地连接有多个药液收纳袋(50)，将药液从药液收纳袋(50)送入到处理部(6)，药液收纳袋(50)呈将柔性树脂片重合并将周缘部熔接而成的袋状，并且具有与外部连通的端口部(53)，在端口部(53)上安装有带阀的接头(54)。

公开(公告)号：CN108296981B

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN201711446236.8

申请日：2017-12-27

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 塚田雅之 ,  澁谷和孝 ,  布施贵之

IPC: B24B37/30 ,  B24B7/22

Abstract: 本发明提供研磨头，能够使承载体根据研磨垫的表面状态良好地进行跟随，能够高精度地研磨工件。研磨头具有：头主体(12)；承载体(14)，其借助于柔性的隔膜(16)而与头主体连结，在下表面侧保持工件；压力室(18)，其设置成被头主体下表面、隔膜和承载体上表面包围；流体供给部(47)，其对压力室供给流体；直动导引件(40)，其具有外侧筒体(41)和花键轴(42)，外侧筒体被固定在头主体的旋转轴线上，花键轴配设在外侧筒体内且能够沿轴线方向活动自如，且该花键轴相对于外侧筒体以轴线为中心的旋转被限制，头主体的旋转力经由外侧筒体被传递至花键轴；以及旋转传递板(45)，其配设在花键轴的下端部与承载体上表面之间，将承载体支承为倾动自如，并且将花键轴的旋转力传递给承载体。

公开(公告)号：CN108296981A

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201711446236.8

申请日：2017-12-27

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 塚田雅之 ,  澁谷和孝 ,  布施贵之

IPC: B24B37/30 ,  B24B7/22

CPC classification number: B24B37/32 ,  B24B37/005 ,  H01L21/304 ,  B24B37/30 ,  B24B7/228

Abstract: 本发明提供研磨头，能够使承载体根据研磨垫的表面状态良好地进行跟随，能够高精度地研磨工件。研磨头具有：头主体(12)；承载体(14)，其借助于柔性的隔膜(16)而与头主体连结，在下表面侧保持工件；压力室(18)，其设置成被头主体下表面、隔膜和承载体上表面包围；流体供给部(47)，其对压力室供给流体；直动导引件(40)，其具有外侧筒体(41)和花键轴(42)，外侧筒体被固定在头主体的旋转轴线上，花键轴配设在外侧筒体内且能够沿轴线方向活动自如，且该花键轴相对于外侧筒体以轴线为中心的旋转被限制，头主体的旋转力经由外侧筒体被传递至花键轴；以及旋转传递板(45)，其配设在花键轴的下端部与承载体上表面之间，将承载体支承为倾动自如，并且将花键轴的旋转力传递给承载体。