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发明公开
工件粘贴方法和工件粘贴装置无效

公开(公告)号：CN102693907A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210080610.8

申请日：2012-03-23

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 酒井孝昭 , 寺泽光子 , 大西进

IPC: H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种能够高精度地粘贴工件的工件粘贴方法及工件粘贴装置。工件粘贴装置(10)包括按压工作台(18)和按压头(42)，该按压头(42)以能相对于按压工作台(18)自由地靠近、离开的方式配置在按压工作台(18)的上方，该工件粘贴装置(10)通过利用按压工作台(18)和按压头(42)进行按压而借助蜡将工件(23)粘贴在板(22)上，该工件粘贴装置(10)的特征在于，按压工作台(18)具备加热器(31)和冷却机构(32)，加热按压工作台(18)和按压头(42)而隔着涂敷在板(22)上的蜡按压工件(23)，在使蜡延展后，利用冷却机构(32)将按压工作台(18)和板(22)冷却，从而使蜡固化而将工件(23)粘贴在板(22)上。

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